TES用超导薄膜制备及特性研究

• 作者: 刘贤文 徐骁龙 李劲劲 王雪深 钟青 曹文会 白剑楠 张硕 刘想靓 司坤宇 周哲海 甘海勇
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 超导薄膜 TES 单光子探测器
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 页码范围: 184-188
• 页数: 5页
• 分类号: TB96
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2021.02.09

摘要

超导转变边沿传感器(TES)是光强单位坎[德拉]量子化所需的单光子探测器,金属超导薄膜物理特性的研究是TES研究的基础.采用不同电源功率磁控溅射制备高纯Al、Ti超导纳米薄膜,分析其薄膜生长速率随气压和功率的变化.利用表面应力仪及电学测量仪,分析薄膜表面应力及电学特征.最后将薄膜放入商用稀释制冷机中,进行超低温测试,获得其超导特性.研究发现超导转变温度Tc以及转变沿宽度△T是影响TES能量分辨率以及时间常数的重要参数.实验结果将为TES器件的制备奠定基础.