基于数字孪生的设备预测性维护模式研究

• 作者: 张蕾
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 预防性维护 预测性维护 数字孪生
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备|Semiconductor Manufacturing
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TN607
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.003

摘要

为解决传统预防性维护手段的弊端,提出了预测性维护的一般模式,并基于数字孪生技术,构建数字孪生系统,详细介绍了数字孪生驱动下的预测性维护模式,提高了设备的维护效率,降低了运维成本,增强了设备故障的可追溯性.同时,系统具备良好的可扩展性.