离子注入机分析器模型的自动调束控制方法

• 作者: 孙勇 钟新华 杨亚兵
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 离子注入机 质量分析器 磁场测量与校准 自动调束
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备|Semiconductor Manufacturing
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.005

摘要

采用系统辨识方法获得离子注入机分析器精确模型,然后将系统模型作为分析器控制器的前馈控制,提前预测控制输出,提高控制器的响应速度,并在此基础上增加反馈控制通道,用来修正模型误差和外界干扰.最后,将此控制方法应用于CIP300型离子注入机研发,自动调束的效率和成功率都有较大提升.