超声处理对建筑用EVM表面离子镀DLC涂层组织和摩擦性的影响

• 作者: 陈剑红 武晓东 陈梦娇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 关键词: DLC EVM 超声处理 微观组织 耐磨性
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 168-173
• 页数: 6页
• 分类号: TQ323
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.201910021

摘要

通过超声方法处理聚氨基甲酸酯表面,选择脉冲碳离子源,结合阴极放电等离子方法在EVM表面完成DLC涂层的沉积过程,对超声处理过程中温度与时间参数引起的DLC涂层摩擦特性改变进行分析.实验测试研究结果表明:当超声处理的时间延长或者温度升高后,在试样表面形成了更深的条纹,能够显著增强EVM表面发生溶解的能力.DLC涂层在拉曼光谱测试过程中都形成低波数区间中的肩部结构,可以推断其光谱曲线都包含了D峰与G峰,在DLC膜内形成了跟高比例的石墨相.DLC涂层后的表面相对于EVM发生了摩擦系数稳定性下降,该结果表明DLC涂层可以使EVM获得更优耐磨性.当超声温度升高以及时间延长后,试样先发生摩擦系数的略微减小,之后发生逐渐升高.进行超声超声后,试样发生了磨损量的大幅降低,可以获得更致密的DLC涂层.