线形同轴耦合微波等离子体系统仿真研究

• 作者: 彭宜昌 吴易龙 徐伟 张威 陈特超
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 线形同轴耦合微波等离子体 电子密度 真空腔体 平板式PECVD设备
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备|Semiconductor Manufacturing
• 页码范围: 5-7,45
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.002

摘要

微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)法产生的等离子体密度高,成膜质量好,是制备高效太阳能电池背面钝化膜的重要方法.基于自主研制的平板式PECVD设备,对其核心部分——线形同轴微波等离子体系统进行了仿真分析,获得了该系统等离子体源的空间分布规律,为设备设计的进一步优化提供技术指导.