篇名 | 基于TRIZ解决PECVD设备中SiNx在气路中的有害沉积 | ||
来源期刊 | 承德石油高等专科学校学报 | 学科 | |
关键词 | TRIZ PECVD SiNx膜 太阳能电池 | ||
年,卷(期) | 2021,(3) | 所属期刊栏目 | 工程技术应用|Engineering Technology Application |
研究方向 | 页码范围 | 33-36,60 | |
页数 | 5页 | 分类号 | TM914.4 |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI | 10.3969/j.issn.1008-9446.2021.03.009 |