钨/类金刚石复合膜的摩擦磨损行为研究

• 作者: 汪云海 李星 强克迪 毛晶晶
• 来源期刊: 家电科技
• 关键词: 磁控溅射 类金刚石膜 复合膜 摩擦磨损 表面钝化
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 论文|Articles
• 页码范围: 86-90
• 页数: 5页
• 分类号: TB332
• 语种: 中文
• DOI: 10.19784/j.cnki.issn1672-0172.2021.04.017

摘要

采用复合磁控溅射法在高速钢HAP40表面制备了钨(W)/类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)复合膜,通过调整工艺参数获得了5μm厚的复合膜(W层:1.7μm;WXCY层:0.3 μm;DLC层:3μm),重点研究了W/DLC复合膜的结构组分、截面形貌和摩擦磨损行为.结果 表明:W和WXCY复合层的存在有利于降低DL层的生长内应力,改善其界面结合情况;W/DLC复合膜的主要磨损形式为滑动磨损,表面基本没有粘附铝元素,但是会吸附空气中或润滑油中的氧;W/DLC复合膜中存在大量氢原子饱和σ悬键,使复合膜表面被钝化,进而获得低摩擦系数.