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蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工试验分析
蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工试验分析
作者:
牛俊凯
张毅
韩欣
李国伟
陈晓强
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
衬底片
背面
减薄
磨削
加工
试验
摘要:
为分析磨削加工对发光二极管蓝宝石衬底片背面减薄加工质量的影响,采用行业内主流的磨削设备进行磨削加工试验.在试验中,分析砂轮转速、磨削进给量、冷却水温度等对蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工质量的影响.试验表明,砂轮转速适当提高,有助于提高蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工的合格率,但若转速过高,则合格率反而会降低;蓝宝石衬底片 目标厚度不同,所采用的磨削进给量也不相同;在兼顾加工效率的情况下,薄尺寸蓝宝石衬底片适合低速进给,厚尺寸蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工时可适当提高进给速度;冷却水温度升高,蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工的合格率降低,冷却水温度不应高于29℃.
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文献信息
篇名
蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工试验分析
来源期刊
机械制造
学科
关键词
衬底片
背面
减薄
磨削
加工
试验
年,卷(期)
2021,(7)
所属期刊栏目
试验·检测
研究方向
页码范围
68-72
页数
5页
分类号
TH162
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-4998.2021.07.021
五维指标
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衬底片
背面
减薄
磨削
加工
试验
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机械制造
主办单位:
上海市机械工程学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-4998
CN:
31-1378/TH
开本:
大16开
出版地:
上海市中兴路960号2号楼415室
邮发代号:
4-18
创刊时间:
1950
语种:
chi
出版文献量(篇)
7796
总下载数(次)
30
总被引数(次)
26616
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