混合集成电路制造工艺文件体系研究

• 作者: 毛寒松 王腾
• 来源期刊: 机电工程技术
• 关键词: 混合集成电路 HIC制造工艺文件体系 工艺技术文件 工艺管理文件
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发|Research and Development
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TN45
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2021.06.016

摘要

随着国防军事电子装备迅速发展,混合集成电路的需求量也随之快速增加.混合集成电路工艺制造过程复杂,建立完善的工艺文件体系是保证工艺制造流程清晰可控、产品质量稳定的基础.介绍了混合集成电路制造工艺文件体系的发展,指出了制造工艺文件体系是以指导混合集成电路制造过程为基础,深入分析了制造工艺文件体系的构成,包括体系的架构、管理及基本要求,提出了制造工艺文件体系标准化建设的思路,并借鉴PDCA管理思想推进体系的改进与持续完善.