DRC-MME直通标定随机误差估计及最优配置分析

• 作者: 苗政委 汤媛媛 魏凯 张雨东
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 椭偏测量 参数标定 随机误差 遗传算法
• 年，卷（期）: 2021,（24）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量|Instrumentation, Measurement and Metrology
• 页码范围: 120-130
• 页数: 11页
• 分类号: O436.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202141.2412003

摘要

椭偏仪实现高精度测量的关键在于模型值的精准标定,而随机误差是影响标定精度的重要因素.从椭偏仪随机误差的产生原因入手,针对零阶噪声受限、一阶噪声受限、二阶噪声受限三种可能存在的系统,对测量结果随机误差进行了数值估计.为了降低测量结果的随机误差,采用枚举法和遗传算法,得到了三种系统下的最佳配置.数值分析和实验结果表明,比起常用的配置,最佳配置下的随机误差可以降低1/3以上.本文虽然仅给出三种噪声受限系统的最优配置,但是噪声估计结果和优化方法可以适用于多种噪声模型共同存在的模型.