快速响应型薄膜温度传感器制备

• 作者: 刘坤林 彭晨
• 来源期刊: 科学技术创新
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝陶瓷 铂 薄膜 温度传感器
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 科技创新
• 页码范围: 8-10
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1328.2021.03.004

摘要

温度传感器作为测温仪器的核心部分,已被广泛应用于工业、航空、医疗等领域.近年来,随着智能手环、智能手表等可穿戴设备的出现,人们对实时监测自身与户外温度的需求不断增加.为满足此需求,温度传感器需要具有高响应速度、高精确度、兼容可穿戴设备等特性.本文基于氧化铝陶瓷基底和金属铂薄膜提出了一种可以用于快速测量人体自身与人体室外环境的微型温度传感器的制备.对制备得到的器件进行了温敏特性和时间常数的测试,结果表明该温度传感器有良好的温敏特性参数和较快的响应速度.