基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究

• 作者: 董茂进 冯煜东 韩仙虎 蔡宇宏 秦丽丽 王毅 王冠 马凤英 王济洲
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅氧烷薄膜 对电极辊 等离子体增强化学气相沉积方法 阻隔膜 透水率
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 99-103
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.45|TB484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202105015

摘要

柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求.采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酿(PET)基膜上,以硅醚(HMDSO)为单体,氧气(O2)为反应气体,制备了柔性硅氧烷(SiOxCyHz)薄膜.研究了膜厚,氧气/单体比例、压力等参数对透水率(WVTR)的影响规律、测试了膜层的组分、透射光谱、应力等特性.研究结果表明,透水率随硅氧烷薄膜厚度增大而减小,随氧气/单体比例增大而减小,随压力减小而增大.500 nm厚的硅氧烷薄膜透水率低于5×10-3g/(m2·day),可见光谱段(380-760 nm)透光率达到88.6％,表面粗糙度为1.8 nm,薄膜应力随薄膜厚度增加显著增大.