基于参数激励的两自由度耦合MEMS谐振式陀螺

• 作者: 吕路婧 李崇 綦声波
• 来源期刊: 噪声与振动控制
• 学科: 物理学
• 关键词: 振动与波 参数激励 MEMS陀螺仪 多尺度法 耦合 两自由度 数值求解
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 振动理论与数值解法
• 页码范围: 71-78,87
• 页数: 9页
• 分类号: O323
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1355.2022.01.012

摘要

模态耦合是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的主要误差来源,针对这个问题,首先从建立陀螺的两自由度动力学模型入手,研究非理想模态耦合条件下的参数激励方法.然后,将多尺度法、龙格-库塔法(Runge-Kutta methods)和牛顿迭代法(Newton-Raphson method)等综合分析方法应用于该模型,表征模态耦合对参数驱动的影响.最终的仿真结果表明,通过适当调节参数激励的强度可以有效地放大两个模态的振动振幅,特别是当参数激励进入不稳定区域时效果更明显.而耦合项会引起微陀螺模态之间的能量传递,产生的影响是响应振幅会被修正,并且刚度耦合可以提升不稳定区的阈值,改变共振频率.这些结论有助于设计者改进和提高MEMS陀螺仪的设计及性能.