电子工业专用设备期刊
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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  • 作者: 冯建美 廖志杰 张海波 林妩媚 白瑜 邢廷文
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  1-7,19
    摘要: 为了解光刻机照明系统的技术发展方向和技术研究热点及技术成熟度,并为科研人员提供技术参考,对光刻机照明系统技术专利文献进行了检索,并对专利文献数据进行了统计分析,分别从专利权人分布、国际专利分...
  • 作者: 尹宁 胡延兵
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  8-10,14
    摘要: 涂胶显影机的产能设计是一个重要部分,通过对机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺传递周期时间参数等核心参数的设计,有效地配置工艺处理模块的数量及位置、工艺传递晶圆的速度及路线,搭建出...
  • 作者: 刘洪 庞炳远 索开南 董军恒 闫萍
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  11-14
    摘要: 通过直拉工艺生长直径60 mm的N型〈100〉单晶,之后以该单晶作为原料,采用区熔工艺生长成50mm(2英寸)N型〈111〉单晶,单晶的电阻率为2.71~5.35Ω·cm,少子寿命为500~...
  • 作者: 孙少东
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  15-19
    摘要: 介绍了一种快速升降温炉体的研制.由于传统的炉体升温响应较慢,升温耗时耗能,与之相比的快速升降温炉体,在升温性能方面,实现了升温响应快、抑制超调效果好.在降温方面,传统炉体只能依靠自然降温,平...
  • 作者: 刘锋 耿博耘 韩焕鹏
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  20-24
    摘要: 改进CG6000型单晶炉的热场,增加下保温碳毡和上保温罩,改一段式导流筒为三段式导流筒.通过CG sim模拟软件的晶体生长模拟,对比了改进前与改进后的热场,模拟分析指出改进后热场加热功率降低...
  • 作者: 关宏武 冯小强 宋文超 祝福生
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  25-27
    摘要: 太阳能电池的制造需要许多湿清洗步骤.制绒是这些步骤之一,这个阶段是非常重要的,用它可以确保单晶硅和多晶硅电池片的高效率.为了获得稳定和可循环使用的制造工艺,精确可靠的实时测量刻蚀成分主要针对...
  • 作者: 吴得轶 杨彬
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  28-30,58
    摘要: 在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺.如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼...
  • 作者: 李有成
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  31-34,58
    摘要: 针对小型裸芯片的组装特点,特别是GaAs等薄脆材料,低压力贴装非常重要.简要介绍了组装系统贴装头的结构及其优点,重点阐述了贴装力的测定方法,给出了贴装力与超行程的关系,并结合贴装吸嘴形式和运...
  • 作者: 史建卫 周旋 李明雨 檀正东 王海英 韩彬
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  35-41
    摘要: 选择性波峰焊技术是SMT技术中新兴发展的技术,它的出现较大的满足了高密度多样性混装PCB板的组装要求.选择性波峰焊具有焊点参数单独设置,对PCB热冲击小,助焊剂喷涂量少,焊接可靠性强等优点,...
  • 作者: 刘国敬 吕磊 左宁
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  42-45,48
    摘要: 飞针测试系统是于来测量混合电路板、LTCC基板、PCB板的各网络间开路、短路、绝缘以及电容的专业电子芯片检测设备.针对飞针测试系统用到的精密电阻、高压绝缘以及电容测试仪的相关应用进行研究并提...
  • 作者: 张雄刚 李会峰 霍军军
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  46-48
    摘要: 传统ATE比较昂贵,功率大耗电多,造成工C的测试成本偏高,针对ATE的不足之处,设计制作FPG A模块的频率测试系统,包括FPGA测试系统的组成模块,测试原理和测试方法,以及与H andle...
  • 作者: 巨莎娜 罗怀民 赵玉国
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  49-53
    摘要: 对设备接地技术进行了分析和研究,通过对接地方法、方式、设计等探讨,将接地方法规范化,可有效改善设备的可靠性和电磁兼容性.
  • 作者: 廖正贵 杨晓东 王成君
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  54-58
    摘要: 重力热管自动连续退火除气线是针对太阳能重力热管热处理工艺开发的专用设备,控制系统的设计对设备的稳定运行有着重要的影响.基于嵌入式一体化工控机和PLC的自动退火线电气自动控制系统的硬件构成、软...
  • 作者:
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  59-70
    摘要:

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

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