涂胶显影机的产能设计

• 作者: 尹宁 胡延兵
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 机台的工艺时间参数 工艺处理周期时间参数 工艺传递周期时间参数
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 8-10,14
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2346字
• 语种: 中文

摘要

涂胶显影机的产能设计是一个重要部分,通过对机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺传递周期时间参数等核心参数的设计,有效地配置工艺处理模块的数量及位置、工艺传递晶圆的速度及路线,搭建出目标机台内的工艺模块组成架构,确定出目标机台内的各个机器人技术参数,满足与光刻机联线生产的量产涂胶显影机对产能的技术需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹宁		3	0	0.0	0.0
2	胡延兵		3	0	0.0	0.0