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电子工业专用设备

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Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109

本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。

主办单位：

中国电子科技集团公司第四十五研究所

期刊荣誉：

2001~2002年度标准化规范化部级奖 获2003~2004年度出版质量部级奖

ISSN：

1004-4507

CN：

62-1077/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

100029

地址：

北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

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1. 大直径重掺硅单晶工艺研究

作者：莫宇韩焕鹏

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 1-3,30

摘要：重掺单晶一些独有的特性，能有效解决目前集成电路面临的一些难题。对大直径重掺硅单晶生长过程中的一些工艺进行了研究，主要包括掺杂方式和拉速设定两个方面，通过实验分析，选取了适宜的掺杂方式与拉速，...
2. 小型化MEMS陀螺仪标定平台的设计

作者：侯为萍孙敏

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 4-6,14

摘要：基于角速率转台体积大、结构复杂、标定范围小、移动性差等现状，设计了一种标定范围广的小型化M EM S 陀螺仪标定设备，在此基础上提出了一种角速度积分标定方法，通过将陀螺仪电压信号积分值与实际...
3. PECVD的原理与故障分析

作者：曹健

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 7-10

摘要：介绍了PECVD 工艺的种类、工艺原理以及设备的基本结构；根据多年对设备的维护经验，分析了PECVD 设备的常见原因，提出了处理措施；最后，分析总结了影响PECVD 工艺质量的主要因素。
4. 液晶玻璃上料中光纤定位系统设计与应用

作者：乐志虎廖毅张博李剑

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 11-14

摘要：为了满足液晶玻璃上料机初定位搜索范围大、定位精度高同时保证效率的需求，对光纤、图像定位进行了分析、对比。介绍了光纤定位系统的概念、原理、功能。然后，为了便于应用，着重介绍了光纤系统和下游CC...
5. 基于Beckhoff的PC兼容控制系统设计与实现

作者：程秀全谭立杰

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 15-20

摘要：针对激光划切机快速高效的工艺特点，设计基于倍福B eckhoff的PC 兼容控制系统。通过高速E therC A T 现场总线技术，确保工作台的高动态性能，满足激光与工作台协同控制技术要求，...
6. 2014年中国大陆13种主要半导体设备进口43.66亿美元

作者：

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 20-20

摘要：
7. QFN封装元件组装及质量控制工艺

作者：史建卫

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 21-30

摘要： Q FN 封装由于具有良好的电和热性能、体积小、质量轻，在电子产品中被越来越广泛的推广和应用，针对Q FN 封装元件PC B 焊盘设计、焊膏印刷网板开孔设计、贴装工艺、焊接工艺及返修工艺进行...
8. 分离式超声波发射接收系统设计

作者：付纯鹤黄晓鹏

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 31-37

摘要：基于超声扫描显微镜的特殊应用需求，设计了一种分离式超声波发射接收系统，并介绍了其主要的硬件电路设计和软件设计，通过该系统在超声扫描显微镜上的应用验证了其性能。系统可有效减少线缆反射，将信号衰...
9. 全自动硅片清洗设备的多线程软件设计

作者：侯为萍刘玉倩陈仲武高建利

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 38-43

摘要：介绍了硅片的全自动单片湿法工艺设备的基本结构，重点阐述了此设备的控制逻辑及优化方案。在软件的开发过程中，采用多线程设计，提高了设备的生产效率和可靠性。
10. 450 mm（18英寸）晶圆计划踩煞车ASML：现阶段已无必要性

作者：

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 44-45

摘要：
11. ARM：物联网发展将引发下一波工业革命

作者：经济日报

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 45-45

摘要：
12. 大陆向全球华人半导体企业招手

作者：财讯双周刊

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 46-47

摘要：
13. 中国超过美国成为从德国进口电子产品第一大国

作者：德国联邦外贸与投资署

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 47-48

摘要：
14. 具备超越石墨烯优势的新材料──黑磷

作者：

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 48-49

摘要：
15. 突破委外产能限制半导体OEM亟需重新整合供应链

作者： Susan Hong

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 49-51

摘要：
16. 国家基金频频出手集成电路产业整合加快

作者：机电在线

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 51-51

摘要：
17. 德国康佳特推出基于英特尔酷睿 TM超薄工业级Mini-ITX主板

作者：

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 52-52

摘要：
18. Fairchild的800V SuperFET II MOSFET系列提供最低的导通电阻和多种可选封装

作者：

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 53-53

摘要：
19. 凭借卓越贡献连续5年斩获殊荣应用材料公司荣获“英特尔首选优质供应商”称号

作者：

刊名：电子工业专用设备

发表期刊： 2015年2期

页码: 53-53

摘要：

电子工业专用设备基本信息

刊名	电子工业专用设备	主编	赵璋
曾用名
主办单位	中国电子科技集团公司第四十五研究所	主管单位	中国电子科技集团
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1004-4507	CN	62-1077/TN
邮编	100029	电子邮箱	faith＿epe@sohu.net
电话	010-64443110，64655251	网址	www.chinaepe.com.cn
地址	北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室