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电子工业专用设备2019年第6期出版文献
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 通过对太阳能电池主要电性能参数进行理论分析与研究,结果表明,晶体硅太阳能电池效率异常主要包括两类,分别为开路电压与短路电流异常和填充因子异常;并结合电性能参数测试数据列举了异常数据类型,为解...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 以MOCVD为研究对象,采用有限元方法研究了喷淋头进气压强、流量、载片盘转速及反应室出口压力对反应室内部流场的影响.结果 表明,气体流量及载片盘转速对反应室内部流场具有极大的影响.研究结果不...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 通过低压力化学气相沉积(LPCVD)法生长SiO2薄膜炉膛内部温度分布、TEOS源温度设置、炉内压力以及待生长硅片在炉膛内摆放位置等工艺条件变化对所生长薄膜质量的影响进行了多方面的分析,总结...
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4. 锗晶片磨削用砂轮研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 针对锗晶片磨削工艺中使用的#4000砂轮,进行了不同磨削砂轮粘结剂配比对锗晶片表面粗糙度影响的试验,并对晶片磨削原理进行了简要分析;实验表明锗晶片表面粗糙度好坏和砂轮的自锐功能是否正常有明显...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要：
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 经过实验和实测总结出4种远程通信控制实现方法:基于Socket套接字、MySQL数据库、Webservice接口、SECS/GEM半导体标准通讯协议,并分析了几种方法的优缺点,比较几种方法的...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 以Datacon 2200 evo多功能贴片机为例,介绍了动臂式贴片机的贴片工艺流程,探讨了自动贴片中常见的故障现象和处理方法.
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9. 信息动态刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要：
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10. 高效率光刻机系统设计刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 为满足芯片生产产能提升的需要,研制了一种高效率接触/接近式自动光刻机系统.通过关键零部件合理布局及局部高效动作设计提高了光刻机的生产效率,利用全周期动作时序图进行理论效率测算～160片/h(...
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11. 显影系统供液设计研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 显影是半导体制造过程中的一道很重要的工艺环节,不同工艺使用的显影液不同.为实现多种显影液自动切换,并避免人工更换显影液造成的污染与浪费,且能够有效提高生产效率,设计了一种新型的显影供液系统,...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要：
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17. 智能制造的大数据分析刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年6期页码:摘要：
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
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