光刻机视像自动对准系统的开发

• 作者: 封国齐 曹永辉 王勇 陈旭东
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 物理学
• 关键词: 光刻机 视像 自动对准 机器视觉
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 45-49
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 字数: 2457字
• 语种: 中文

摘要

设计视像自动对准系统采用工业相机从MERALIGNM系列投影式光刻机的双目显微镜提取含有掩模对准标记和晶圆对准标记图像,经过图像处理后获取对准标记的位置坐标以及掩模标记与晶圆标记间坐标差,控制晶圆或者掩模调整平台位置,实现光刻机的视像自动对准功能.经过现场批量生产验证,视像自动对准系统的对准精度优于1μm.标记识别率与掩模和晶圆的图像有关,对于某类产品标记识别率达到99％以上,一般类别产品标记识别率可以达到97％以上,可以满足现场自动化生产要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇		4	25	2.0	4.0
5	封国齐		1	0	0.0	0.0
6	陈旭东		1	0	0.0	0.0
7	曹永辉		1	0	0.0	0.0