纳米技术与精密工程(英文)期刊
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纳米技术与精密工程(英文)

Nanotechnology and Precision Engineering
曾用名: 纳米技术与精密工程

CSTPCD

影响因子 0.4753
本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿. 本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论... 更多
主办单位:
天津大学 中国微米纳米技术学会
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
出版周期:
季刊
邮编:
300072
地址:
天津市南开区卫津路92号
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  • 作者: BOSSE Harald DANZEBRINK Hans-Ulrich EHRET Gerd FLUEGGE Jens SCHULZ Michael 戴高良
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  377-391
    摘要: 几何量计量技术大量应用于光学制造业以检测零件质量和控制生产过程,是光学制造业的核心技术,涉及微纳米结构的几何量计量以及平面、球面、非球面、直纹曲面及自由曲面的面形计量.本文综述了德国联邦物理...
  • 作者: 吴修栋 孙伟强 庄虔伟 薛炯微 许胜勇
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  392-396
    摘要: 在本课题的研究中,提出了一种利用水溶性钼酸钠铵纳米线和纳米探针系统来制备微纳流体系统的方法.借助这种方法可制备长度、直径以及横截面可控的的纳米通道.对于选用SU-8和聚二甲基硅氧烷(PDMS...
  • 作者: 张喆 祁志美
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  397-401
    摘要: 在玻璃基片上射频溅射50 nm厚的金膜,然后利用TiO2胶体溶液在金膜表面制备了厚度约为320 nm的TiO2纳米多孔薄膜.以此双层膜为漏模光波导芯片,构建了基于Kretschmann结构的...
  • 作者: 李恺 牛高 罗江山 罗炳池 谭秀兰
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  402-407
    摘要: 以自悬浮定向流技术为理论基础,研制了一种金属纳米微粉制备装置.该装置由高频电源、走丝部分、管路部分、颗粒分级收集部分等组成,可制备粒径范围为15~150 nm的金属或金属间化合物纳米微粉.粉...
  • 作者: 孟庆辉 徐爽 程继航
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  408-411
    摘要: 采用水热法在较低的温度(160℃)下一步合成了高纯的六方相ZnO纳米/微米球,它们是由纳米颗粒聚合而成的.讨论其生长机制发现,在这个合成体系中,H2O起到了非常关键的作用.X射线衍射(XRD...
  • 作者: 吴学忠 周泽龙 李圣怡 王雄 肖定邦 陈志华
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  412-416
    摘要: 首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺.设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺.利用硅的各向异性湿法腐蚀等MEMS体加工技术,简化了该微陀螺的制作工艺.该微结构的对称性、一...
  • 作者: 任振兴 夏善红 薛茜男 边超 韩泾鸿
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  417-421
    摘要: 设计了基于分子印迹与电化学微传感器的尿素仿生微传感器,采用MEMS工艺制作集成微型3电极系统,实现了传感器的微型化.通过电化学方法制备了分子印迹聚合物(MIP),印证了分子印迹聚合物的印迹效...
  • 作者: 刘景全 杨春生 王亚军 芮岳峰
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  422-426
    摘要: 在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了...
  • 作者: 李保庆 褚家如 许晓慧 马剑强
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  427-431
    摘要: 研究制备了一种压电厚膜微变形镜,微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动.以镜面冲程与工作频带宽为目标,对微变形镜的结构参数进行优化设计,根据优化参数采用硅微加工技术试...
  • 作者: 刘晓为 张博 张宇峰 张涛 苑振宇
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  432-435
    摘要: 为了提高燃料电池的机械强度并降低加工成本,设计了一种基于不锈钢材料的空气自呼吸式微型直接甲醇燃料电池(DMFC).采用高温微型冲压技术制作电池的极板,并在其表面溅射Au和TiN来防止电化学腐...
  • 作者: 伊福廷 张冬仙 王波 章海军 赵冬伟
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  436-439
    摘要: 提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KrF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(H...
  • 作者: 初明璋 孔祥东 薛虹 韩立
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  440-445
    摘要: 提出了基于电子束曝光的微区加热技术.在研究样品吸收能量密度的基础上,在FEI820 Dual Beam FIB/SEM系统上对30 keV电子来曝光Pb、Bi、Sn、Al金属薄膜以及15 k...
  • 作者: 侯占强 吴学忠 肖定邦 董培涛
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  446-450
    摘要: 基于阳极键合过程中的静电吸合效应,提出了一种可避免静电黏附失效的低应力阳极键合技术.采用湿法腐蚀技术制作了梯形截面的硅梁结构和对应的Pyrex玻璃基底,理论分析了该结构的静电吸合电压并进行了...
  • 作者: 温泉 王坤 苑泽伟 金洙吉
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  451-458
    摘要: CVD金刚石膜作为光学透射窗口和新一代计算机芯片的材料,其表面必须得到高质量抛光,但是现存方法难以满足既高效又超精密的加工要求.本文提出机械抛光与化学机械抛光相结合的方法.首先,采用固结金刚...
  • 作者: 刘红轩 张福民 曲兴华
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  459-463
    摘要: 基于激光位移扫描的大尺寸内径测量系统中,测量数据存在多个系统误差参数并易受到粗大误差的影响.在分析该系统工作原理的基础上,分析了测量传感器安装倾斜误差和回转臂偏心误差,并提出了相应的校正补偿...
  • 作者: 唐洁影 居易 陈龙龙 韩磊
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  464-467
    摘要: MEMS器件在循环振动载荷作用下,器件可能会发生断裂、软化等疲劳失效现象.本文中选取了以表面工艺加工的多晶硅结构—固支梁与悬臂梁作为实验研究对象,并在微结构梁上利用光刻的方法对两个被测结构分...
  • 作者: 刘媛媛 刘晓为 殷景华
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  468-470
    摘要: 在不同温度条件下完成了PMMA电泳芯片的热压键合,研究了键合温度对电泳芯片电渗流流速的影响.通过采用2%HEC+1 ×TBE的筛分介质对沟道进行改性,以硼砂和TBE为缓冲溶液,对相同沟道截面...
  • 18. 稿约
    作者:
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  封3
    摘要:

纳米技术与精密工程(英文)基本信息

刊名 纳米技术与精密工程(英文) 主编 胡小唐
曾用名 纳米技术与精密工程
主办单位 天津大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 季刊 语种
eng
ISSN 1672-6030 CN 12-1458/03
邮编 300072 电子邮箱 namijishu@tju.edu.cn
电话 022-27892181 网址 http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/
地址 天津市南开区卫津路92号

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