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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
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3266
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  • 91. 飞秒激光加热多层金属薄膜的热响应
    作者： 宋亚勤 张元冲 徐红玉 王秋军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年9期
    页码:  405-410,439
    摘要： 采用微观双曲两步热传导模型,研究了飞秒脉冲激光加热过程中多层金属薄膜的热响应.利用界面连续条件,推得三层金属薄膜各层薄膜内电子温度和晶格温度在拉普拉斯域内的解析表达式.通过拉普拉斯数值反变换...
  • 92. RF磁控溅射和氨化法制备GaN纳米棒和纳米颗粒
    作者： 何建廷 庄惠照 胡丽君 薛守斌 薛成山 高海永
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年9期
    页码:  411-414,419
    摘要： 利用射频磁控溅射法分别溅射ZnO中间层和Ga2O3薄膜到Si(111)衬底上,然后ZnO/Ga2O3薄膜在管式石英炉中常压下通氨气进行氨化,高温下ZnO在氨气气氛中被还原生成Zn而升华,而在...
  • 93. 无阀微泵泵腔中流体流动的有限元模拟与分析
    作者： 刘世炳 左铁钏 王伟 蒋毅坚 陈涛 陈继民
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年9期
    页码:  415-419
    摘要： 采用有限元仿真软件ANSYS/FLOTRAN对收缩/扩张型无阀微泵泵腔中流体流动的全过程进行了数值模拟和仿真分析,得到了流体在整个泵腔中的流场构形和流动特性.结果表明,泵腔结构单元的弯道效应...
  • 94. 表面加工微多晶悬梁在振动载荷下的响应分析
    作者： 唐洁影 许筱玲
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年9期
    页码:  420-424
    摘要： 以表面加工多晶硅悬臂梁为例分析了MEMS器件在振动环境下的可靠性.将悬臂梁看作一个质量分布参数系统,采用梁的线性弯曲振动方程,运用数学物理方法计算出悬臂梁在振动载荷下的位移响应和应力分布,依...
  • 95. 基于扫描隧道显微镜的纳米加工技术
    作者： 于欣蕾 宋会英 张玉林 魏强
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年9期
    页码:  425-429,434
    摘要： 介绍了具有原子级分辨率的扫描隧道显微镜(STM)的工作原理及其相对于传统的电子束加工所具有的技术优势,阐述了STM在纳米加工中的应用和需要解决的技术难题.
  • 96. 微分方程的VHDL-AMS建模和仿真
    作者： 崔嵬 杨东升 沈祝山
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年9期
    页码:  430-434
    摘要： 讨论了VHDL-AMS的基本语法,给出了其建模仿真微分方程的方法,结合传输线的模型,重点分析了VHDL-AMS不直接支持的偏微分方程转化成常微分方程的建模仿真方法.
  • 97. 超大规模集成电路的可制造性设计
    作者： 李惠军 郭琦
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年9期
    页码:  435-439
    摘要： 以Synopsys推出的TCAD软件TSUPREM-Ⅳ和Medici为蓝本,结合100nm栅长PMOSFET的可制造性联机仿真与优化实例,阐述了超大规模集成电路DFM阶段所进行的工艺级、器件...
  • 98. 中国微米/纳米技术第七届学术年会会议纪要
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年9期
    页码:  440
    摘要：
  • 99. 柔性结构拓扑优化中几种求解方法的比较
    作者： 王立鼎 褚金奎 郝秀春
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  441-445,483
    摘要： 通过对两种柔性结构的拓扑优化,比较了拓扑优化中三种主要求解方法的优缺点.分别用优化准则法(OC)、序列线性规划法(SLP)和移动渐近线法(MMA)对悬臂结构和力反相机构进行了拓扑设计.OC法...
  • 100. 共振隧穿器件应用电路概述--共振隧穿器件讲座(2)
    作者： 郭维廉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  446-454
    摘要： 在"共振隧穿器件概述"的基础上,对共振隧穿器件应用电路作了全面概括的介绍.首先对共振隧穿器件应用电路的特点、分类和发展趋势作了简述;进一步对由RTD/HEMT构成的单-双稳转换逻辑单元(MO...
  • 101. 磁控溅射制备ZnO薄膜及其掺杂的研究
    作者： 张波 徐晓峰 梁二军 王良 谢涵坤
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  455-458,488
    摘要： 利用磁控溅射制备了纯ZnO薄膜,并在NH3-O2-Ar气氛中溅射Zn靶实现了ZnO薄膜的N掺杂;利用双靶共溅的方法分别制备了Al掺杂和N+Al掺杂样品.原子力显微镜(AFM)观察显示各ZnO...
  • 102. 有机包裹的Ⅱ-Ⅵ族半导体量子点的制备与表征
    作者： 何修军 占红明 陈伟 陈良 饶海波
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  459-462,468
    摘要： 介绍了单分散量子点的无机成核/有机包裹的合成方法,并通过选择性沉淀可以得到单分散的半导体量子点;介绍了TEM,XRD,UV-Vis吸收谱对纳米Ⅱ-Ⅵ族量子点的表征.
  • 103. 低k层间介质研究进展
    作者： 吴振宇 杨银堂 汪家友 苏祥林
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  463-468
    摘要： 介绍了低k介质材料的研究和发展状况,从制备方法和材料特性等不同角度对低k材料进行分类,并结合ULSI对低k材料的要求讨论了低k材料在ULSI中的应用前景.
  • 104. 一种快速响应双稳态热执行器的结构设计
    作者： 丁桂甫 姜政 张东梅
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  469-472
    摘要： 利用ANSYS有限元分析软件并结合工艺条件,就其中的热执行按照快速响应的特点,对各结构参数与热执行器部件的驱动力、驱动位移、电阻、响应时间等驱动性能的影响进行了分析与仿真,从而得到了优化结构...
  • 105. ICP刻蚀技术在MEMS器件制作中的应用
    作者： 吴学忠 张建辉 李伟东 李圣怡
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  473-476
    摘要： 简单介绍了ICP刻蚀系统和刻蚀原理.通过实验分析了ICP刻蚀SiO2和Cr时,刻蚀速率随相关工艺参数变化而变化的几点规律.同时给出了用ICP刻蚀出的MEMS传感器Si基腔的表面形貌图和Cr电...
  • 106. 微纳米片状金属粉制备设备
    作者： 刘宏英 姜炜 李凤生 杨毅
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  477-480
    摘要： 为了解决目前普通球磨机在制备微纳米片状金属粉时存在的粉碎效率不高、能耗高等问题,结合球磨机和搅拌磨的粉碎原理和结构,设计并研制了一种内部搅拌轴和外部筒体反向旋转的球磨机.考察了该设备对金属粉...
  • 107. 交流测试信号振幅对SrTiO3薄膜介电性能的影响
    作者： 何世明 刘兴钊 李言荣 段滨
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  481-483
    摘要： 研究了交流测试信号振幅对SrTiO3薄膜介电性质的影响,并比较研究了不同氧空位浓度的SrTiO3薄膜介电性质随测试信号振幅的变化规律.经研究发现,测试信号振幅对高氧空位浓度钛酸锶薄膜的相对介...
  • 108. 离子注入剂量的均匀性检测和校正
    作者： 伍三忠 孙勇 孙雪平 王玮琪 王迪平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  484-486
    摘要： 介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法.
  • 109. 业界快讯
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  487-488
    摘要：
  • 110. 征稿启示(一)《微纳电子技术》2006年对以下内容(专题)特别征稿:
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  489
    摘要：
  • 111. 征稿启示二《纳米器件系列讲座》特别稿约
    作者： 《微纳电子技术》编辑部
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  489
    摘要：
  • 112. 《微纳电子技术》投稿须知
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年10期
    页码:  490
    摘要：
  • 113. InAs/GaAs量子点材料和激光器
    作者： 吴巨 王占国
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年11期
    页码:  489-494
    摘要： 介绍了近年来长波长InAs/GaAs量子点材料的生长、结构性质和量子点激光器的研究进展.
  • 114. 纳米隐身材料及其在信息化战争中的应用
    作者： 张臣
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年11期
    页码:  495-499
    摘要： 论述了纳米隐身材料的一些特殊性质;介绍了国内外纳米隐身材料的研究概况;展望了纳米隐身材料的应用前景和未来发展方向.
  • 115. 溶胶-凝胶法制备无机纳米材料的研究现状
    作者： 李怀祥 赵婧
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年11期
    页码:  500-505
    摘要： 简述了溶胶-凝胶法制备无机纳米材料的工艺过程以及溶胶-凝胶法在无机纳米材料制备中的应用,尤其是在纳米微粒、纳米薄膜的制备及粉体的表面包覆等方面的应用.分析了溶胶-凝胶工艺中的各种影响因素,并...
  • 116. 纳米薄膜的分类、特性、制备方法与应用
    作者： 沈海军 穆先才
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年11期
    页码:  506-510
    摘要： 介绍了纳米薄膜的分类以及纳米薄膜的光学、力学、电磁学与气敏特性;综述了现有的溶胶-凝胶法、L-B膜法、电化学沉积法、化学汽相沉积、低能团簇束沉积法、真空蒸发法、溅射沉积、分子与原子束外延、分...
  • 117. δ-FeOOH的制备及研究进展
    作者： 孟哲 魏雨
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年11期
    页码:  511-514,517
    摘要： 综述了H2O2氧化Fe(Ⅱ)盐制备δ-FeOOH的方法及其应用进展.对近期室温、微量EDTA存在下,O2快速氧化Fe(Ⅱ)盐制备δ-FeOOH的新方法及其形成机理和转化进行了研究.展望了δ-...
  • 118. InGaAs(InAlAs)/InP和InP/InAlAs湿法选择腐蚀研究
    作者： 刘跳 周州 蔡道明 赵永林 郭亚娜
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年11期
    页码:  515-517
    摘要： 介绍了两种选择腐蚀液对InGaAs(InAlAs)/InP和InP/InAlAs异质结构材料选择腐蚀的实验结果,重点介绍在InAlAs上面生长InP的湿法选择腐蚀,用HCl:H3PO4:CH...
  • 119. 单分散钡铁氧体空心粒子的制备研究
    作者： 叶先华 官建国 甘治平 陶剑青
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年11期
    页码:  518-521
    摘要： 以单分散的聚(苯乙烯-共-丙烯酸)[P(St-co-AA)]乳胶粒子作为模板粒子,通过其表面羧基与在弱极性溶剂中制得的均匀分散的钡铁氧体前驱物溶胶之间的相互作用,制备了聚苯乙烯/钡铁氧体前驱...
  • 120. 一种表面修饰的CdS量子点的合成与特征分析
    作者： 何修军 占红明 陈伟 陈良 饶海波
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2005年11期
    页码:  522-524,531
    摘要： 用无机成核/有机包裹方法成功合成了3～4nm的CdS量子点;用巯基丙三醇(1-thioglycerol)对CdS量子点进行了表面修饰;对CdS量子点进行了在水溶液中的分散性实验,同时用透射电...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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