微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22
总被引数(次)
16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22
总被引数(次)
16974
文章浏览
目录
  • 作者: 刘明 易里成荣 李志钢 涂德钰 王丛舜 谢常青 龙世兵
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  393-397
    摘要: 介绍了电子束曝光技术、EUV光刻技术和X射线光刻技术的进展;对各种纳米电子器件如单电子器件、共振隧穿器件和分子电子器件的研究现状及面临的主要挑战进行了讨论.
  • 作者: 郭维廉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  398-404,424
    摘要: 通过对共振隧穿器件的特点、分类、工作原理、电流成分、器件参数等的介绍,为初学人员或非专业爱好人员提供一个对共振隧穿器件全面的、概括性的认识.
  • 作者: 宋亚勤 张元冲 徐红玉 王秋军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  405-410,439
    摘要: 采用微观双曲两步热传导模型,研究了飞秒脉冲激光加热过程中多层金属薄膜的热响应.利用界面连续条件,推得三层金属薄膜各层薄膜内电子温度和晶格温度在拉普拉斯域内的解析表达式.通过拉普拉斯数值反变换...
  • 作者: 何建廷 庄惠照 胡丽君 薛守斌 薛成山 高海永
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  411-414,419
    摘要: 利用射频磁控溅射法分别溅射ZnO中间层和Ga2O3薄膜到Si(111)衬底上,然后ZnO/Ga2O3薄膜在管式石英炉中常压下通氨气进行氨化,高温下ZnO在氨气气氛中被还原生成Zn而升华,而在...
  • 作者: 刘世炳 左铁钏 王伟 蒋毅坚 陈涛 陈继民
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  415-419
    摘要: 采用有限元仿真软件ANSYS/FLOTRAN对收缩/扩张型无阀微泵泵腔中流体流动的全过程进行了数值模拟和仿真分析,得到了流体在整个泵腔中的流场构形和流动特性.结果表明,泵腔结构单元的弯道效应...
  • 作者: 唐洁影 许筱玲
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  420-424
    摘要: 以表面加工多晶硅悬臂梁为例分析了MEMS器件在振动环境下的可靠性.将悬臂梁看作一个质量分布参数系统,采用梁的线性弯曲振动方程,运用数学物理方法计算出悬臂梁在振动载荷下的位移响应和应力分布,依...
  • 作者: 于欣蕾 宋会英 张玉林 魏强
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  425-429,434
    摘要: 介绍了具有原子级分辨率的扫描隧道显微镜(STM)的工作原理及其相对于传统的电子束加工所具有的技术优势,阐述了STM在纳米加工中的应用和需要解决的技术难题.
  • 作者: 崔嵬 杨东升 沈祝山
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  430-434
    摘要: 讨论了VHDL-AMS的基本语法,给出了其建模仿真微分方程的方法,结合传输线的模型,重点分析了VHDL-AMS不直接支持的偏微分方程转化成常微分方程的建模仿真方法.
  • 作者: 李惠军 郭琦
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  435-439
    摘要: 以Synopsys推出的TCAD软件TSUPREM-Ⅳ和Medici为蓝本,结合100nm栅长PMOSFET的可制造性联机仿真与优化实例,阐述了超大规模集成电路DFM阶段所进行的工艺级、器件...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  440
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年9期
    页码:  插页2
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊