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微纳电子技术2009年第11期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 从Si纳米线场效应晶体管(SiNWFET)的结构原理、Si纳米线的制作工艺以及器件电学性能的改善措施三个方面介绍了SiNWFET的研究进展.通过分析SiNWFET的漏极电压对沟道电势的影响,...
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2. Si基芯片光互连研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 综述了近年来Si基光互连,尤其是和微电子工艺兼容程度较高的芯片间和芯片内的光互连的进展.Luxtera公司已经率先实现了除光源外的所有光子器件的单片集成,IBM也提出并开始实施微电子学领域的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 基于GaInAs/AlGaAs应变量子阱大光腔结构激光器芯片和无氧铜微通道热沉,采用In焊料烧结工艺,制作了976 nm大功率连续激光器单条.在20℃热沉冷却条件下,输入电流110 A时,输...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 用稀土金属铽(Tb)作催化剂,通过磁控溅射和退火氨化法成功制备出大量单晶GaN纳米棒,并研究退火温度对GaN纳米棒表面形貌、晶体质量和发光特性的影响.扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(X...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 实验采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在Si衬底上制备了非晶硅薄膜.研究了射频功率、PH,掺杂浓度等因素对薄膜电阻率以及应力的影响.实验结果表明,对于非掺杂非晶硅薄膜,当射频功率从...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 氢化非晶硅薄膜(a-Si:H)是目前重要的光敏材料,而薄膜中的H含量及组态对薄膜的稳定性有着极其重要的影响.介绍了H对薄膜稳定性影响的原理,提出了控制薄膜中的H含量的必要性.分析了H在H稀释...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 给出了微压电式振动能量采集器的基本工作原理和物理模型.按照压电单元结构类型的不同,将其分为单一的直线型悬臂梁、直线型悬臂梁阵列、L型悬臂梁和圆形压电膜,分别讨论了各种类型的微压电振动能量采集...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 把微电子机械系统键合强度检测分为传统分层检测方法、微结构检测方法和非破坏性检测方法,并逐一对这些方法进行细分和详细地描述.传统分层检测方法的难点是结构的夹持,而且不能实现在线监测;非破坏性检...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 通过分析超窄脉冲实现纳米、亚微米级精度微细电解加工的机理和特点,说明脉冲电源的脉冲宽度减小至纳秒时,可将提高电解加工精度的方法综合运用,如小间隙电解加工、低浓度电解液、加工间隙的实时检测和调...
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10. Si外延过程中图形漂移的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 给出了图形漂移的定义,综合介绍了埋层外延中图形漂移的监测方法,其中包括常规的磨角染色法和无损伤测量垂直和平行于参考面两个方向上图形线宽的变化比例法.结合不同面上的原予密度的不同,分析各晶向上...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对(100)晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na,PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制...
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12. 一种高性能CMOS采样/保持电路刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 提出了一种高性能CMOS采样/保持电路,它采用全差分电容翻转型的主体结构有效减小了噪声和功耗.在电路设计中提出了新型栅源电压恒定的自举开关来极大减小非线性失真,并同时有效抑止输入信号的直流偏...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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