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微纳电子技术2011年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年5期页码:摘要： 根据质量守恒和电荷守恒定律,在分析溶液中电荷形成及电流传导的理论基础上推导了电纺电流与纺丝电压以及溶液流量之间所存在的幂指数数学关系,并通过实验验证了该结果的正确性.利用I-V转换电路所记录...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年5期页码:摘要： 提出了采用气泡液膜反应器,将金属离子Mn+与OH-等沉淀剂在气泡液膜中进行共沉淀反应,制备铁氧体纳米粒子前躯体的气泡液膜法.制得的前躯体可精确地保持各金属组分的配料摩尔比,且分布均匀、粒径尺...
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63. 热光效应的微流体光波导结构分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年5期页码:摘要： 提出了一种基于微流控芯片由热光效应引起的微流体光波导结构.光波导芯层及覆层材料均为微通道中同种不同温度的液体.在微通道的上下面分别设计金属铜电极,在电极两端施加电压,对通道内液体加热.通过液...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年5期页码:摘要： 针对梳齿电容形式的微机械加速度计,对其工作原理和动态性能进行了分析.该微结构的质量块由4个折叠梁支撑,采用梳齿结构形成差分检测电容用于检测质量块的位移.通过理论推导得到了结构的质量、刚度和阻...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年5期页码:摘要： 提出了一种新颖的基于三维掩膜的硅各向异性腐蚀工艺,即利用深反应离子刻蚀、湿法腐蚀等常规体硅刻蚀工艺和氧化、化学气相沉积(CVD)等薄膜工艺制作出具有三维结构的氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年5期页码:摘要： 首先分析了在制作GaN基LED时,采用干法刻蚀技术会对材料的表面和量子阱有源区造成损伤,影响了GaN基LED的内量子效率.针对这个问题,研究实验采用感应耦合等离子反应刻蚀(ICP-RIE)技...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年5期页码:摘要： 利用显微红外热成像技术对功率器件进行热可靠性分析.先从理论上阐述了显微红外热成像技术的原理,进而尝试利用该技术进行微波功率器件可靠性筛选工作,通过分析获取了显微红外图像中的温度分布和峰值温度...
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68. 电子束光刻技术与图形数据处理技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 介绍了微纳米加工领域的关键工艺技术--电子束光刻技术与图形数据处理技术,包括:电子束直写技术、电子束邻近效应校正技术、光学曝光系统与电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术、电子束曝光工艺技术...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 传统激光器由于封装键合工艺的要求,需要较大的芯片电极面积,限制了器件尺寸进一步小型化.量子尺寸的衍射效应使量子阱半导体激光器的垂直结平面发散角较大,不利于光束整形,限制了半导体激光器的直接应...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 研发了一种通过MOSFET的超薄栅氧化物分析直接隧穿电流密度的模型.采用Wentzel-Kramers-Brilliouin(WKB)近似计算了隧穿概率,利用清晰的表面势方程改进模型的准确性...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 针对单层掺混结构改善丝网印刷碳纳米管(CNT)薄膜场发射性能的局限性,提出了一种能有效改善CNT薄膜场发射性能的双层掺混结构.相比传统单层掺混结构的CNT阴极薄膜,双层掺混薄膜中上层TiO2...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： Si基Er2O3薄膜材料具有带隙宽、k值高等特点,在微电子和光电子领域具有潜在的应用价值.首先,阐述了Si基Er2O3薄膜材料的晶体结构具有多态现象,而立方晶形的Er2O3具有方铁锰矿立方结...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 对光纤消逝场理论进行了详细分析,阐述了影响光纤消逝场传感器灵敏度的一些关键因素,并对几种常见的光纤消逝场传感光纤的优缺点进行了比较,主要包括圆柱形、D形、U形、锥形以及光子晶体光纤等结构的传...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 以FLUENT6.1为工具进行并行计算,数值计算求解二维和三维稳态可压缩Navier-Stokes方程,模拟了三维壁面效应对扁平形状硅收缩-扩张微喷管内温度和压力的影响,进而研究了三维壁面效...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 传统的微机械陀螺采用扫频方法测试结构的品质因数,存在耗时长、测量效率低和精度差等问题.提出了一种新的品质因数测量方法,该方法的原理是通过对陀螺的驱动端施加一个激励脉冲,采集驱动检测端的相应衰...
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76. 基于微机械圆盘谐振器的振荡器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 基于微机械谐振器的硅振荡器是微波通信系统中的关键器件.制作了工作于径向体声学振动模态的微机械谐振器,通过分析微机械谐振器的电参数,并以此谐振器为基础进行振荡器的设计.针对圆盘形微机械谐振器工...
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77. MEMS THz滤波器的制作工艺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 基于MEMS技术制作了太赫兹(THz)滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术.采用4 μm的热氧...
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78. 碳纳米管与外电路的连接技术进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 首先,介绍了碳纳米管电子器件应用中的关键工艺技术--碳纳米管与外电路的连接技术,回顾了碳纳米管与外电路装配的发展历程.从碳纳米管在电极间的随机连接到电场定位组装和原子力显微镜的可控操纵,描述...
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79. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年6期页码:摘要：
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80. 富勒烯C74分子的电子传导特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 采用密度泛函理论和非平衡Green函数的Tight-Binding方法,对C74富勒烯分子及其连接Au电极构成的C74分子器件的电子结构和电子传导特性进行了理论研究.得出了电子通过C74分子...
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81. 808nm高效率激光二极管刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 目前808 nm高效率激光二极管产品的转换效率只有50%左右,还有很大的提升空间.通过提高欧姆接触层浓度、界面渐变和波导层掺杂等方面的外延材料结构优化,减小附加电压和电阻值,设计制作了808...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶结合氢气还原方法,制备了Fe与TiO<,2>两相共存的纳米复合物.透射电子显微镜(TEM)图片显示,纳米复合物的颗粒大小为100～300 nm,且具有明显的核/壳结构.X射线衍...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶结合模板的方法制备得到La掺杂BiFeO3(Bi0.94La0.06FeO3(BLF))多铁纳米管,运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM和HRTE...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 采用与MEMS兼容的工艺,自上而下制作了分级多孔纳米结构的氧化铝/金多层薄膜(HNAGF)电极.利用扫描电子显微镜(SEM)、能量散射谱(EDS)对上述多层薄膜电板结构进行了表征.SEM图像...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 以五水硝酸铋和五氧化二钒为原料,通过微波合成法制备了纳米BiVO<,4>,采用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)表征了样品的形貌、结构和特性.XRD表...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 近年来,基于表面等离子体的材料和器件在基础科学和应用科学研究领域受到了极大关注.首先介绍了纳米等离子体与激发光的作用机理及其展现的独特效应;然后分别介绍了纳米等离子体作为传感手段在DNA分子...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 基于VO<,x>的非致冷红外传感器是当前MEMS的研究热点.VO<,x>的制作是关键工艺,而VO<,x>多价态共存,优化工艺以提高VO<,2>在VO<,x>中的比例、制备高性能的VO<,x>...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 对一种新型的丙烯酸酯干膜光刻胶(DFP)的曝光及显影特性进行了研究,采用该干胶制作出微沟道结构,进行微流道实验研究.在4英寸(1英寸=2.54 cm)硅片上实现了厚度为50μm的干胶完好贴敷...
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89. 电子束曝光制备光滑曲面微结构刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 提出了一种基于电子束曝光制备光滑曲面微结构的新技术.对聚合物玻璃转化温度与分子量之间的关系、分子量与电子束吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现聚合物玻璃转化温度随吸收能量密度的增加而减...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年7期页码:摘要： 为实现纳米三坐标测量机(NMM)中大范围高精度位移的测量(测量范围小于40 mm,分辨率小于0.1 nm),研制了一种大量程纳米级测量精度的实用化外差干涉仪,并对该干涉仪的光学结构进行分析研...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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