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微纳电子技术2011年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 利用Gaussion98对C20分子及C20±离子进行了结构优化、频率计算,得到了没有虚频的稳定结构.在此基础上对C20分子及C20±离子的电子结构和振动光谱进行了比较分析.自然键轨道理论(...
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122. 共振声子THz QCL有源区结构设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 利用Airy函数代换与传输矩阵方法精确计算了有外加偏压下电子在共振声子太赫兹量子级联激光器有源区单个周期内的透射系数与波函数,得到了不同偏压下的电子波函数分布以及准束缚态能级位置与外加偏压的...
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123. MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 气相色谱分离柱是色谱系统的重要组件之一,采用MEMS技术制作的微型气相色谱分离柱与传统分离柱相比,因其具有较小的平面二维结构和快速分离混合物的能力而备受青睐.对MEMS微型气相色谱分离柱结构...
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124. 非线性及粒子空间效应对交流电渗流泵的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 在交流电渗流(ACEO)泵的研究中,一般采用Debye-Huckel(D-H)线性近似法.但该方法只在电压很小时才成立,这和实际情况不符;此外,交流电渗流泵在大电压、高频率下的反向流现象也不...
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125. 五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器.从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5...
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126. O型MEMS平面微弹簧弹性系数研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2％.在计算公式和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 针对复合板结构中弯曲板波谐振频率计算相对复杂的问题,建立并分析了基于弯曲板波延迟线振荡器的理论模型,计算得到A0(0阶反对称)模式板波的谐振频率为41 MHz;为了验证理论分析的结果,利用有...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 采用离子交换法去除ULSI/GLSI CMP浆料SiO2水溶胶中的Na+.介绍了微电子专用CMP SiO2水溶胶纯化的研究现状.实验分析了SiO2水溶胶中Na+与阳离子树脂的交换机理,硅溶胶...
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129. 柔性聚合物基材上三维纳米问隙的制作及互连刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构.室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验.在间距...
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130. 厚铝芯片制造工艺的光刻对准效果改善刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 对于厚铝芯片的制造工艺,由于光刻对准标记上覆盖了厚的铝层,对准标记形貌轮廓会变得模糊,这会导致光刻对准出现困难,对偏的问题将变得常见.为了解决此问题,提出了多种改善方法,首先采用叠加标记法,...
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131. 纳米尺度自旋转移矩器件的制备工艺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 提出一种改进的自旋转移矩器件的制备工艺:在电子束曝光形成纳米级图形之后,依次采用离子束刻蚀、带胶绝缘层淀积再正胶剥离的图形转移方法,成功制备了纳米柱状赝自旋阀结构磁性多层膜CoFe/Cu/C...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 介绍了在进入22 nm技术节点后MOSFET器件的两个发展方向,即多栅结构和应变硅纳米线结构.首先通过分析特征长度与有效栅极数量的关系,表明多栅结构器件可以有效增强栅极对沟道的控制,抑制短沟...
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133. 体积小重量轻的SiC微波脉冲功率晶体管刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 采用自主开发的工艺加工技术和设计方法,直接将两个微波SiC MESFET管芯在管壳内部进行并联,实现了器件在S波段脉冲状态下(工作频率2 GHz,脉冲宽度30 μs,占空比10％)输出功率大...
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134. 用于高效太阳电池的硅基微纳结构及制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 介绍了用于高效太阳电池的几种硅基微纳结构的最新研究进展,重点介绍了几种硅基微纳结构的制备方法,如阳极腐蚀制备多孔硅、各向异性制绒以及气液固(VLS)生长纳米线等,并对各种方法的特点作了分析比...
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135. 用于染料敏化太阳电池的新型碳纳米管材料刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 介绍了利用简单有效的电泳沉积工艺制备新型碳纳米管薄膜材料,并应用于染料敏化太阳电池.通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)和透射电子显微镜(TEM)等表征手段发现,制备的新型碳纳米管薄膜材料...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 针对RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了在开关梁上设计一个上悬梁的方法,以增大开关梁所受压膜阻尼,抑制开关梁在平衡位置附近的振动,从而缩短RF MEMS开关的释放时间.给出了这种方法...
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137. 微系统中铜微梁构件损伤的内部驱动应力研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 在微机电系统(MEMS)中,影响多晶体微梁构件疲劳损伤的因素很多,如载荷方式、晶粒尺寸及其内部空间滑移系等.重点是从多晶铜微梁构件的微观结构入手,分析引起微构件疲劳损伤的内在应力机制.首先由...
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138. 基于复合形法的低g微惯性开关结构优化设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置,其设计目的包括减小体积、提高抗振性和产品间闭合阈值一致性等综合性能.针对一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关,在给定...
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139. 超低k介质材料低损伤等离子体去胶工艺进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 介绍了三类常见的低k介质材料,并对空气隙(k=1)的发展进行了探讨；讨论了引起等离子体损伤的机理和传统的O2等离子体去胶工艺面临的困难；最后综述了近年来国际上提出的低损伤等离子体去胶工艺的研...
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140. 高密度螺旋波等离子体源的应用进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 首先介绍了螺旋波的定义、螺旋波等离子体源产生等离子体所需条件的工作范围以及螺旋波等离子体源主要的一些应用.按照所加磁场范围的不同(分为在磁感应强度为100～1 600 Gs和在强磁场中两部分...
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141. 半导体器件硅衬底化学机械平坦化研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 主要对分立器件硅衬底化学机械平坦化(CMP)进行了研究.首先通过正交实验方法研究活性剂、螯合剂、磨料浓度和有机碱对硅材料去除速率的影响,得出活性剂体积分数对去除速率的影响最大,并且研究出去除...
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142. 《微纳电子技术》征稿刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要：
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143. 有机胺碱对硅粗抛光及表面微形貌的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年11期页码:摘要： 硅单晶抛光片是极大规模集成电路应用最广泛的衬底材料,抛光液为影响硅单晶片抛光最关键的因素.通过改变抛光液中有机胺碱配比来调节抛光液的pH值.实验结果表明:随着有机胺碱比例的不断增加,pH值随...
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144. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年12期页码:摘要：
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145. 量子元胞自动机器件和电路的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年12期页码:摘要： 量子元胞自动机(QCA)是一种新颖的纳米技术,该技术不再通过电流或电压而是基于场相互作用进行信息的计算和传递.首先,综述了两种量子元胞自动机(EQCA和MQCA)器件的计算原理、基本逻辑门和...
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146. 石墨烯/Si晶体管的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年12期页码:摘要： 石墨烯具有很多优异的力学、电学和结构特性,可用于制备高速、低功耗的半导体电子器件和集成电路芯片.简要介绍了三种石墨烯/Si的制备方法,即剥离法、外延法、剪切和选择转移印刷法,其中外延生长的石...
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147. 半导体量子点敏化太阳电池的最新进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年12期页码:摘要： 半导体量子点太阳电池目前是一个十分热门的研究领域,在未来新能源利用领域具有潜在的应用价值.首先,介绍了几种量子点敏化电极的制备技术.然后,着重评述了CdS,CdSe和PdS量子点敏化太阳电池...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年12期页码:摘要： 在醇基介质中采用阳极氧化方法成功在Ti6Al4V合金表面制备出大面积的α和β相均为纳米管结构阵列.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDXA)对纳米管阵列的表面形貌、微结构和热稳定...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年12期页码:摘要： 以C1对称C20富勒烯分子为模型,在Gussion03上做了结构优化、频率计算以及自然键轨道理论(NBO)计算,并在同样的方法和基组下分别对C20分子得失一个电子的情况做了计算,并进行了分析...
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150. 用于OLED的碳纳米管刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年12期页码:摘要： 首先,介绍了传统柔性有机发光二极管(FOLED)的基本结构及缺点.其次,对氧化铟锡(ITO)玻璃应用于FOLED生产的局限性进行了阐述.然后将碳纳米管(CNT)与ITO薄膜进行了对比,对碳纳...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
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北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
