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微纳电子技术2013年第6期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域.综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 在肖特基势垒型的碳纳米管场效应管半经典模型中,通常采用WKB(Wentzel-Kramers-Brillouin)近似法求解透射系数,对所有经典转折点复杂的动量-位置关系进行积分,导致运算量...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 通过溶胶-凝胶法和低温煅烧法,成功制备了二氧化钌/石墨烯纳米复合材料,并用XPS、TEM和XRD检测了产物形貌、粒径及晶型.实验表明,在复合材料中,水合二氧化钌颗粒呈球形,粒径约为5 nm,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 以四水硫酸铈和硫酸钛为原料,十二烷基硫酸钠为表面活性剂,通过直接投料微波合成法制备了掺铈纳米二氧化钛,并用XRD、SEM对其进行了表征.结果表明,直接投料掺杂铈量为硫酸钛物质的量的0.8％时...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 通过建立LC谐振传感器的互感耦合系统的电路模型,给出了测试端输入阻抗的幅值、实部、虚部及相位与传感器谐振频率的关系,并用MATLAB软件进行了仿真分析.仿真结果表明,当传感器与检测线圈接近发...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 设计了一种基于纳米磁性液体的旋转式蠕动微泵.泵体由上、下基板和弹性薄膜组成,弹性薄膜位于上、下基板的中间位置.在上、下基板上分别加工出微型管道,上管道中的纳米磁性液体在磁场作用下压迫弹性薄膜...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 为了检测三磷酸腺苷(ATP)的浓度,通过Au-S键将巯基修饰的三磷酸腺苷的适体ssDNA自组装到薄膜金电极上,制备了一种可灵敏准确地检测ATP浓度的电流型适体传感器.首先研究了薄膜金电极的制...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 基于MEMS工艺设计并制作了一种小型化毫米波滤波器,该滤波器采用硅基双层SIW的结构形式.理论分析计算了滤波器的结构参数,并使用三维电磁场分析软件HFSS对该结构进行了模拟仿真.设计得到了中...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 针对石英基声表面波双端谐振器,进行理论分析、结构设计和加工制作,最后完成谐振器样机性能测试分析.利用耦合模(COM)理论模拟谐振器的性能,建立叉指换能器(IDT)的COM方程,利用FEMSD...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 成功开发出了一种可用于纳米结构及器件制作的电子束与光学光刻的混合光刻工艺.通过两步光刻工艺,在栅结构层上采用大小图形数据分离的方法,使用光学光刻形成大尺寸栅引出电极结构,利用电子束直写形成纳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 综述了MEMS薄膜泊松比的测试方法,简述了测试薄膜泊松比的目的和意义.结合测试环境与测试手段详细地列举了几类常用的测试方法:拉伸法、纳米压痕法、鼓膜法、谐振法、弯曲法和扭转变形法,介绍了各种...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 基于SU-8和BPN紫外负性感光胶,结合微电镀工艺加工制作射频同轴传输线,以实现射频器件信号的传输与耦合.首先确定在阻抗匹配情况下同轴传输线特性阻抗为50 Ω的同轴传输线的具体尺寸,然后通过...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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