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微纳电子技术2015年第5期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 对10只808 nm大功率激光二极管进行室温恒电流老化,4只器件出现随机失效.采用高倍显微镜、激光扫描共焦显微镜和扫描电子显微镜(SEM)等方法对失效器件的近场光斑、腔面形貌、p面形貌及谐振...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 在对磁场作用下磁性液体薄膜微形变的影响因素进行分析的基础上,设计了一套磁性液体薄膜微形变测试装置,利用永磁体与电磁线圈相结合作为磁源实现了矩阵磁场的微型化和形变所需梯度,借助摄像装置观测记录...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 开发出一种适用于3 mm功率器件的新沟道结构的GaAs PHEMT外延材料.分析了提高电子迁移率的途径,讨论了InGaAs电子有效质量和In组分的关系,参考InP HEMT结构的迁移率和沟道...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 传统机械式引信“固-固”接触型微机械惯性开关存在触点接触压力小、接触电阻大、易磨损退化以及抗振动干扰差等缺点,且“固-固”接触方式闭合或者断开瞬间会产生电火花,从而产生瞬时电磁干扰.采用一种...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 提出一种使用MEMS双层掩膜完成自对准刻蚀的工艺方法,藉此实现了在深腔结构内部对高深宽比硅压力传感器结构的精细加工.该工艺通过两次连续的平面内光刻工艺,使制作在衬底上的薄膜材料如氧化硅(Si...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 基于硅MEMS腔体技术的微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件.开发了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波带通滤波器.采用梳状结构四分之一波长谐振器级联形成微波带通滤波器,利用全波三维电磁...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 研究了一种利用一般原子力显微镜(AFM)实现简便高效纳米操作的方法.利用AFM的成像功能及AFM探针的刻划功能,记录并测量压电陶瓷管(PZT)在X和Y两个方向的位移特性,解决了一般AFM无法...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 提出了一种用差分电阻脉冲微流控芯片快速检测水中油份含量的技术.采用注射泵将模拟油污水样品恒流量在微流控芯片主通道进行输运,主通道两端施加一定幅值的直流电压.当水中油滴通过电阻脉冲检测(RPS...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 微小透镜作为典型微小光学器件在应用光学领域有着重要作用.依据液滴稳态球冠面形具有最小自由能的成形原理,分析了液滴接触角和体积对其面形的影响;通过编程软件SurfaceEvolver对微小液滴...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 提出了一种应用于硅-硅键合过程中表面激活的新方法,采用复合激活的方式,使预键合的硅片表面分别通过化学溶液激活和UV光激活相互结合的手段获得较高的表面态.经键合机预键合后,在高温炉中完成原子轨...
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11. PDMS仿生疏水表面的制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 基于紫外光刻工艺和微纳米结构转印技术制作出了一种MEMS仿生疏水表面,表面材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS).首先旋涂SU-8胶,利用紫外光刻技术制作出微型孔阵列模具,然后浇铸PDMS,固化后...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： CMP工艺水平很大程度上依赖于抛光液的组分及配比,组分之间的相互作用是化学机械抛光的研究内容之一.对以纳米SiO2为磨料、H2O2为氧化剂、有机碱为pH调节剂的钨碱性抛光液组分之间的化学相互...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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