微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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16974
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  • 作者: 吕洪君 张永强 解光军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  493-502,526
    摘要: 基于量子元胞自动机(QCA)电路,通过贝叶斯网络(Bayesian network,BN)对7种不同的传输线建模,研究了基本传输线的输出正确率随温度的变化规律.另外,通过概率转移矩阵(PTM...
  • 作者: 左锋 潘开林 王琳 韦志川
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  503-507
    摘要: 简单介绍了可延展柔性电子互连结构的结构、力学等特性以及实现可延展柔性电子互连结构延展性的方法.从结构设计和力学特性等方面对可延展柔性电子互连结构进行了分析.针对目前可延展柔性电子互连结构在实...
  • 作者: 何秀丽 张金英 李建平 杨天辰 贾建 高晓光
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  508-514
    摘要: 设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器.研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120...
  • 作者: 周勇 杨真 樊天麒 雷冲
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  515-519,534
    摘要: 采用键合、光刻和电镀等微机电系统(MEMS)微细加工技术制备了不同结构的微型化Co基薄带.微型化Co基非晶薄带采用VACUUMSHMELZE公司生产的VC6025Z型材料,其结构设计为曲折型...
  • 作者: 冯辰 刘同冈 商金玮 赵志强
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  520-526
    摘要: 相对于传统机械而言,微机电系统(MEMS)器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键.针对开展MEMS微观摩擦磨损研究...
  • 作者: 于红 张龙波 杜小振
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  527-534
    摘要: 环境振动能量收集装置替代传统化学电池为低功耗系统供能具有诸多优点,分析表明其输出功率仅在谐振状态输出高电能,受环境频变影响较大.拓宽采集设备谐振频带、匹配环境随机振动频率对提高输出功率更具实...
  • 作者: 王帆 董冰玉 许鹏
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  535-540,562
    摘要: 介绍了一种低成本自适应的微机电系统(MEMS)陀螺温度补偿方法.基于自主研发的一款集成化硅MEMS振动陀螺,分析了陀螺温度漂移的原因.研究了降低MEMS陀螺温度误差的方法,设计了一种基于At...
  • 作者: 刘淑杰 原作兰 张元良
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  541-546,551
    摘要: 针对广域光-接触多探针方法测量光刻胶表面形貌的需要,设计制作了Si基Si3 N4弹性膜独立多探针,该探针呈9×9二维阵列分布.先利用ANSYS有限元软件分析探针Si3N4弹性薄膜的厚度和面积...
  • 作者: 刘俊 招瑜 熊辉 魏爱香
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  547-551
    摘要: 采用溶剂热合成技术,以乙醇为溶剂,以氯化锌、氯化亚锡、氯化铜和硫脲为反应剂,以草酸为还原剂,以十六烷基三甲基溴化铵为阳离子表面活性剂,直接在透明导电玻璃(FTO)衬底上制备Cu2ZnSnS4...
  • 作者: 牛新环 王建超 腰彩红 赵欣
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  552-557
    摘要: 针对光学石英玻璃在表面化学机械抛光(CMP)过程中易出现表面及亚表面损伤和蚀坑等缺陷问题,提出了采用低抛光压力和低磨料体积分数的CMP方法.机械作用是引起表面及亚表面损伤的关键因素,低抛光压...
  • 作者: 刘玉岭 孙鸣 岳昕 李祥州 洪姣 牛新环 王如 王辰伟 高宝红
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  558-562
    摘要: 主要研究了低磨料质量分数阻挡层抛光液的抛光性能,并将其与商用抛光液进行了对比.由实验结果可以看出,当固定抛光液中的磨料质量分数时,铜的去除速率随着磨料粒径的减小而升高.当固定磨料粒径不变时,...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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