MEMS负电晕放电气体传感器

• 作者: 何秀丽 张金英 李建平 杨天辰 贾建 高晓光
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 气体传感器 硅尖阵列 负电晕放电 多针-板结构
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 508-514
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.08.003

摘要

设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器.研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120μm.测试了传感器在体积分数均为6×10-4的乙酸、异丙醇、乙醇和丙酮四种有机气体中的放电特性,传感器对乙酸气体响应最灵敏.测试了传感器在-0.91 kV放电电压下对乙酸气体的敏感特性.结果表明,该传感器对不同体积分数的乙酸气体的响应具有较好的线性关系,对体积分数为10-6的乙酸气体的响应约为0.61 mV,理论检测限(三倍噪声)约为1.2×10-5.传感器对乙酸气体响应灵敏度高、重复性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	何秀丽	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	83	492	10.0	19.0
3	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0
4	贾建	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	43	151	7.0	9.0
5	杨天辰	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	4	8	2.0	2.0
6	张金英	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	6	9	2.0	2.0