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微纳电子技术2017年第10期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 介绍了一种基于天线优化的GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的高灵敏度室温太赫兹探测器.在太赫兹波辐射下,太赫兹天线可以高效收集太赫兹波的能量进而提高探测器的性能指标.利用有限时...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 石墨烯的电化学性能,特别是基于石墨烯的电子转移动力学,是石墨烯在电化学传感器、能源存储与转化等方面应用的基础.阐述了石墨烯的电子转移动力学的研究进展.特别是详细描述了石墨烯边缘、基平面以及缺...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 范德瓦尔斯异质结是二维材料以特定顺序堆叠所形成的人工材料,其具有优异的光电特性.主要介绍了石墨烯、硫化钼、硒化钼等不同的二维材料构成的范德瓦尔斯异质结的制备方法和注意事项,以及范德瓦尔斯异质...
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4. 声表面波驱动的微混合器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 基于声表面波(SAW)驱动机理设计并仿真了一种微混合器,制备了由4个谐振频率为49.1 MHz的铜叉指式换能器(IDT)构成的SAW驱动的微混合器(IDT采用剥离工艺制备,使用的基片材料为1...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 针对目前纤毛式MEMS矢量水听器灵敏度和带宽的相互制约,无法实现在高灵敏度的情况下还能有较大的可测带宽.基于此,设计了一种单梁结构的一维MEMS矢量水听器,经理论分析和ANSYS仿真分析,确...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 通过分析电容式触觉传感器的基本工作原理与研究热点,指出了电容式触觉传感器在结构设计中存在着难以兼顾分辨率、测量精度和灵活性的关键问题.参照电容式触觉传感器内的微电容结构,从微电容的电极层、介...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 根据介电电泳原理,设计了一种梯形叉指的微电板结构,用于粒子的连续分离.首先利用COMSOL软件分析梯形叉指电极的电场分布,确定芯片中电场强度最大值和最小值的位置,并分析粒子在微流控芯片中的受...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 在衬底温度为400℃、射频功率为20 W的条件下,通过改变SiH4和NH3的体积流量比、电极(圆环和平板电极)和匀气盘结构,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备出不同成分的氮化硅...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 利用静电纺丝法在轴向磁场辅助下成功制备了含有Fe3O4颗粒的聚乙烯醇(PVA)磁性纳米纤维,纤维直径为250～715 nm.通过引入轴向磁场,显著降低了制备磁性纳米纤维所需的电压值,从而大幅...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 为解决化学机械平坦化(CMP)后Cu表面存在表面粗糙度大、侵蚀等问题,以表面活性剂为基础研制新型碱性清洗剂.采用对比实验研究了脂肪醇聚氧乙烯醚(JFC)、聚乙二醇(PEG)、高碳脂肪醇聚氧乙...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 针对抛光垫的使用寿命对铜膜平均去除速率一致性的影响进行研究,同时采用实时表面形貌控制(RTPC)技术,对抛光过程中,铜膜表面形貌进行实时监控.实验结果表明:抛光垫的使用寿命对铜膜化学机械抛光...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 为了满足微电子机械系统(MEMS)器件制作要求,各向异性腐蚀加工后的硅衬底需具有良好的表面质量.针对MEMS用硅单晶在各向异性腐蚀加工过程中出现的腐蚀表面粗糙、不平整问题,采用常规直拉(Cz...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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