微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 任伟 吴伟 周志涛 李昕欣 柳克银 郑发明 郭聪 陶虎
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  777-782,788
    摘要: 基于超材料结构设计、制造并表征了一款工作在2.5 THz频率下的常温太赫兹探测器,该探测器上电场耦合电感电容(ELC)结构的超材料谐振子阵列吸收太赫兹辐射后,将电磁能转换为热能,温度升高后引...
  • 作者: 杨胡坤 王建萍 董康兴
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  783-788
    摘要: 为探索纳米金属线在旋转电场作用下的运动特征,研究在旋转电场电压幅值一定、不同频率条件下,纳米金属线在不同电导率KC1溶液中的转速.选取长度为6~7 μm、半径为0.025 μm的纳米金属线为...
  • 作者: 吴世翀 林国涛 符跃春 翁瑶
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  789-794
    摘要: Si(110)衬底与Ⅲ族氮化物独特的取向关系使AlN和GaN薄膜的外延生长及其LED器件受到广泛关注.详细分析了A1N和GaN薄膜与Si(110)衬底的取向关系,指出了薄膜与Si(110)衬...
  • 作者: 吕曈 吴文渊 李以贵 王欢 蔡金东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  795-800,818
    摘要: 微加速度传感器由微压电泵驱动的连续循环密闭气流流路、硅热丝传感器以及惠斯登电桥测量电路三部分组成.利用硅热丝可以检测射流气体偏转引起的电阻变化,并通过惠斯登电桥电路测量出对应的加速度.基于硅...
  • 作者: 刘伟景 叶子 孙宁 宋小军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  801-810
    摘要: 采用水热法制备了不同摩尔分数Ni掺杂的ZnO纳米线,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)对所制备的材料进行表征分析.采用介电泳方法将其定位到预先设...
  • 作者: 刘志军 徐立 曹雪玲 王淑香 童军杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  811-818
    摘要: 采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种微芯片来研究微通道中微气泡执行器的气泡动力学行为.在矩形硅微通道内,结合同步的温度响应曲线和高速可视化实验系统研究了各可控参数(热流密度、脉冲频率和主流...
  • 作者: 徐小婷 沈小林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  819-823
    摘要: 微电子机械系统(MEMS)陀螺易受外界温度环境影响,为了降低陀螺仪的测量误差,需要进行温度漂移补偿.但由于陀螺仪的温度漂移呈现复杂的非线性特性,常规的方法无法对其建模.针对这一现状,提出运用...
  • 作者: 傅云霞 孟凡娇 赵军 邵力 雷李华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  824-830
    摘要: 作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础.提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一...
  • 作者: 于洋 刘景全 张维军 曹哲 曹梦佳 杨斌 王晓林 程丹彤 陈翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  831-839
    摘要: 针对静态液滴阵列(SDA)微流控芯片中的毛细阀现象进行机制研究,探讨了流阻及表面张力对SDA芯片中微液滴的生成与存储过程的影响.通过Fluent软件模拟流体流动情况,并对照实验结果进行讨论,...
  • 作者: 刘玉岭 张凯 牛新环 王建超
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  840-843,854
    摘要: 化学机械抛光(CMP)是多层铜布线的关键技术之一.随着集成电路的发展,碱性抛光液将逐渐成为研究热点.而双氧水作为抛光液中最常用的氧化剂,其最大问题是导致抛光液不稳定.在此基础上研究了双氧水稳...
  • 作者: 李飞 焦静静 王彦林 石云波 赵思晗 赵永祺
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  844-848
    摘要: 为提高现有的MEMS高量程压阻式加速度传感器的抗过载能力,优化设计了一种新型圆片级封装结构.通过在敏感结构上增加防护层阻挡质量块位移来减小悬臂梁根部应力,从而防止其断裂,提高了传感器的抗过载...
  • 作者: 周建伟 张佳洁 王子艳 王庆伟 王辰伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年11期
    页码:  849-854
    摘要: Ru/TaN双分子层已经逐渐成为替代传统双分子阻挡层Ta/TaN的最佳选择,而在不同氧化体系中针对Cu,Ru和TaN三种金属去除速率的研究并不多.分别在H2O2和KIO4两种氧化体系中,通过...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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