微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  85-94,100
    摘要:
  • 作者: 张文婷 李嘉琳 桑玲 田丽欣 郑柳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  95-100
    摘要: 阐述了6 500 V 4H-SiC结势垒肖特基(JBS)二极管的设计、仿真和制备过程,并对流片结果进行了测试,分析了测试结果与仿真结果差异的原因.通过仿真对比分析了漂移区厚度、掺杂浓度、有源...
  • 作者: 宋志成 屈小勇 张天杰 郭永刚 高嘉庆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  101-106,118
    摘要: 利用Silvaco-TCAD仿真软件建立二维模型,对n型异质结背接触(HBC)单晶硅太阳电池前表面场进行模拟研究.通过在n型单晶硅衬底正面分别引入一层较薄的本征非晶硅层和一层n+非晶硅层对电...
  • 作者: 张霞 李立松 李龙 杨文思 蒋浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  107-110,139
    摘要: 为了研究不同尺寸的金纳米颗粒作为表面增强喇曼散射(SERS)活性基底对表面增强喇曼光谱的影响,采用氯金酸作为金源,柠檬酸三钠作为还原剂及保护剂,通过控制柠檬酸三钠的加入量合成了不同尺寸的金纳...
  • 作者: 刘伟景 匡旭良 叶子 孙宁 宋小军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  111-118
    摘要: 首先采用水热法制备了四种不同Sn掺杂量的一维Zn1-xSnxO纳米结构材料,然后通过介电泳纳米操控技术将制备的四种纳米结构排布到预先设计的Ti/Au电极之间,进而构建四种湿度传感器,并进行传...
  • 作者: 何常德 宋金龙 张文栋 王任鑫 薛晨阳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  119-125
    摘要: 为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器.振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和...
  • 作者: 姜家宗 孙远志 张伟 邬智宇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  126-132
    摘要: 针对微通道流动沸腾换热,对润湿性和微结构强化微通道换热的最新研究进展进行了综述.总结了近年在金属和硅表面采用的表面处理技术,包括改变微通道表面润湿性、制作出非均匀润湿性的微通道表面、改变微通...
  • 作者: 洪陵成 王丽平 郭天义
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  133-139
    摘要: 微型流式细胞仪综合了流式细胞术和微流体的优势,已成为生物医学、临床应用领域低成本的细胞检测、分析方法.微型流式细胞仪的一个新兴应用是快速检测低浓度的细胞或粒子.基于一种集成了片内光束整形和微...
  • 作者: 丁铮 关钧 端木庆铎
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  140-144
    摘要: 采用原子层沉积技术(ALD)在石英片和n型(100) Si上沉积高阻氧化锌铝(AZO)纳米叠层薄膜,通过扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)和体积表面电阻率测试...
  • 作者: 张成功 李以贵 王欢
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  145-150,156
    摘要: 利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提高了结构强度,增加了驱...
  • 作者: 周海 梁志强 韦嘉辉 高晗
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  151-156
    摘要: 为了去除蓝宝石化学机械抛光(CMP)后表面残留的抛光液,采用表面活性剂复配清洗法,选用非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚9 (AEO9)和阴离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠(AES)按不同...
  • 作者: 刘玉岭 徐奕 王辰伟 马腾达
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  157-166
    摘要: 研究了碱性阻挡层抛光液中各组分对Cu、Ta和正硅酸乙酯(TEOS)去除速率的影响.通过单因素实验分别考察了磨料、FA/O Ⅱ螯合剂、KNO3和FA/O Ⅱ表面活性剂质量分数和H2 O2体积分...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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