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微纳电子技术2021年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年3期页码:摘要： 依据高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)原理,设计了一种迁移区和收集区一体化式的微型化FAIMS气体传感器.电离区采用能量为10.6 eV的紫外灯对异丁烯气体进行电离,迁移区和收集区采用微...
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32. 硅纳米线传感器灵敏度研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年3期页码:摘要： 对基于一维纳米材料的硅纳米线场效应晶体管(SiNW-FET)传感器在疾病早期诊断中检测超低浓度生物标志物的优势进行了简单阐述,提出提高SiNW-FET传感器检测灵敏度的重要性和必要性.介绍了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年3期页码:摘要： 柔性电容式传感器在人体运动检测设备和智能假肢手等可穿戴领域具有广泛的应用.以多壁碳纳米管(MWCNT)为导电材料、A4纸为基底、弹性海绵为介电层,将MWCNT喷涂于A4纸的表面形成电极,设计...
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34. MEMS微同轴宽带功分器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年3期页码:摘要： 随着微波系统大功率、超宽带的发展,对功率分配/合成结构的性能提出了更高的要求,超宽带、低损耗、小尺寸、易于集成的功分器成为研究热点.基于微电子机械系统(MEMS)工艺的微同轴射频传输线具有超...
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35. 微流控通道加工技术的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年3期页码:摘要： 在微流控芯片中,微通道是进行微分析的重要保证,其成型质量直接影响芯片的分析性能.从加工机理、技术特点以及适用范围等方面对激光直写加工、光刻加工、热压印技术、微细铣削加工和3D打印等微流控通道...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年3期页码:摘要： 采用高压微射流均质处理方法,分别在水和异丙醇介质中对以三聚氰胺为前驱体通过热聚合法制备的本征g-C3N4材料进行纳米化处理.通过在紫外光和可见光下降解罗丹明B(RhB)和亚甲基蓝(MB),对...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年3期页码:摘要： 采用Au和Sn单质金属靶,通过直流磁控溅射法制备调制型Au/Sn薄膜(薄膜层数为3～21),经快速退火后,实现单质多层薄膜的合金化.主要研究了Au/Sn薄膜微观形貌和合金化工艺控制.结果 表...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年3期页码:摘要： 以低压化学气相沉积(LPCVD)热壁立式炉为实验平台,由二氯硅烷和氨通过LPCVD工艺合成氮化硅薄膜,利用降温成膜提高氮化硅薄膜的膜厚均匀度.基于气体碰撞理论建立了氮化硅薄膜沉积速率与反应气...
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39. MEMS压电能量采集器的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 压电材料可以将机械能转化为电能的特殊性质引起了基于压电材料的能量采集器的研究.概述了压电能量采集器收集能量的原理,分别介绍了压电能量采集器的悬臂梁型、隔膜型和桥型这三种常用结构以及其他结构,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 通过两步水热法,在泡沫镍基底上成功制备了NiMoO4-CoMoO4纳米复合材料.借助X射线衍射仪(XRD)研究材料的晶格结构,利用扫描电子显微镜(SEM)及其X射线能谱仪(EDS)研究材料的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 利用溶剂热法制备氧化钨(WO3)和钯修饰氧化钨(Pd-WO3)纳米材料,并研究了其对硫化氢(H2S)气体和丙酮(C3H6O)气体的气敏特性.场发射扫描电子显微镜(FESEM)测试结果表明:制...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 高效抗菌性能的石墨烯基材料的制备具有挑战性.两步激光诱导法被成功用于硫掺杂激光诱导石墨烯(SLIG)的合成,该方法简单可控,并且制备的石墨烯纯度较高.研究了SLIG在胶体溶液中的抗菌性能.通...
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43. PDMS基摩擦纳米发电机膜内掺杂刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 基于新的力电转换机理,摩擦纳米发电机(TENG)将自然界中微弱机械能转化为电能,并为小型用电设备供电成为可能,而柔性材料的应用更为低功耗设备的便携性及适应环境能力提供了保证.基于聚二甲基硅氧...
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44. 基于液体摆的双轴电容式倾角传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 为了克服现有倾角测量传感器制作工艺复杂、价格昂贵和操作困难的缺点,根据液体在电极间流动时电容的变化,设计了一种液体摆双轴电容式倾角传感器,推导了传感器的偏转角度与电容值之间的关系模型,并对传...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器.根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采...
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46. 基于微流控技术的液滴微颗粒分选刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 微流控技术在医疗分析中具有重要的应用意义.在对样品生物分子分析前通常需要进行分选,达到纯化的目的 .使用不同种类的微颗粒代替生物分子(如细胞、蛋白质和DNA等),可模拟其在海藻酸钠溶液环境中...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 纳米裂纹制造技术作为一种非传统的纳米加工技术被应用于纳米线条、纳流控芯片和传感器等众多研究领域,然而纳米裂纹生成的随机性及其图案的不确定性限制了该项技术的发展.利用硅模具以及二次倒模工艺,在...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 为了改善石墨毡(GF)表面的疏水性以及解决生长的活性物质易脱落的问题,研究了使用浓硝酸简单的一步法活化石墨毡并且引入含氧官能团.通过实验确定了合适的浓硝酸反应条件.经浓硝酸改性后的石墨毡的比...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 设计并制备了一种基于玻璃-硅微纳米结构的重金属检测微纳传感器芯片用于检测铅.传感器芯片集成了Ag/AgCl参比电极、三维金微阵列工作电极、金对电极以及微检测腔.该传感器采用微电子机械系统(M...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 基于电子封装技术不断趋于3D结构发展,SnBi基焊料合金以其低熔点、低成本和良好的润湿性被用作新一代封装焊料材料,但器件工作过程中的热和电循环作用会影响其互连焊点的可靠性.用SnBi57Ag...
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52. IBC太阳电池技术的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 对叉指背接触(IBC)太阳电池在光伏领域的结构优势和发展进程进行了简单的阐述.重点介绍了 IBC太阳电池前表面场、背面p+和n+区结构、金属化电极的制备方法,并从工业化角度评述了各制备方法的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 硅作为锂离子电池负极的理论比容量是商用碳材料的10倍以上,但是其在循环过程中的巨大体积变化会导致电池负极粉化,形成不稳定的固体电解质界面(SEI)膜,从而阻碍硅负极材料的实际应用.以价格低廉...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 磷酸铁锂(LiFePO4,LFP)是一种良好的阴极材料,然而导电率低和锂离子扩散系数小的缺点限制了其在高倍率下的电化学性能.寻找规模化工艺制备高倍率的锂离子电池阴极材料,对于高倍率锂离子电池...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 采用金属辅助化学腐蚀(MACE)法,通过控制不同的腐蚀时间制备出多孔硅.利用扫描电子显微镜(SEM)观察多孔硅形貌,分析结果表明,随着腐蚀时间的增加,硅表面腐蚀孔洞变大,孔洞深度增加,同时孔...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为了解决柔性压力传感器在大的工作范围内工作时难以兼顾灵敏度的问题,设计了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)锥形微结构且夹层为石墨烯泡沫的柔性压力传感器.介绍了该传感器的制备方法,对比了有无锥...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能.针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏单元,设计了一种新型基于微电...
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58. 基于pn结的微热加速度传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 在密闭腔室,设计加热器和测温元件结构并充入气体后加热,腔室内可以形成稳定的热对流场.由于气体存在惯性,当外界有加速度作用时,指定位置放置的pn结可以检测到温度变化.通过仿真分析优化了腔室的合...
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59. X波段MEMS环行隔离滤波芯片刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 设计并制备了一种X波段微电子机械系统(MEMS)环行隔离滤波芯片,该芯片以高阻硅作为衬底材料,由2个MEMS环行器、1个薄膜匹配电阻以及1个MEMS滤波器四部分优化集成在一起,实现多功能芯片...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 微电极阵列可在彼此独立的电极点上通过改性材料修饰完成多功能集成,是脑机接口的核心部件.使用微电子机械系统(MEMS)工艺结合溅射、剥离工艺将氧化铱薄膜作为pH响应功能层集成在微电极阵列对应的...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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