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微细加工技术2001年第4期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 综述了半导体量子阱材料的最新发展动态及其制备技术.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 系统阐述了缩小投影(或纳米投影)电子束曝光技术的原理,以及如何将一台透射电镜改装为原理论证机的主要过程.内容包括机械结构的变动、电子光路的选择、调焦及曝光、成像系统的逐步演化、实验曝光结果与...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 介绍了新研制的以PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 使用改进的高斯圆束的能量分布密度函数,结合矢量扫描作图方式,推导出图形各关键位置的剂量计算公式,并使它们在图形邻近效应校正处理中得到实际应用.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨,并在此基础上确定了函数中的各参数的算法.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 将电磁场理论与流体力学理论相结合,从理论上推导得到液态金属离子源发射尖端所应满足的电磁流体力学方程.从电磁流体力学方程出发,可以合理地解释液态金属离子源在不同工作状态下的实验现象.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 给出了用3.1eV(400nm)荧光监测法在载氢商用通信光纤上制作光纤Bragg光栅的实验,采用244nm SHG:氩离子激光器和振动掩模,在其Bragg中心波长(λ=1550.65nm),...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 主要介绍投影光刻机工件台的压力-真空平衡气足设计,对压力-真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了分析,并给出了气足结构参数的优化设计.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 合成了用于LIGA微细加工技术的聚甲基丙烯酸甲酯抗蚀剂,采用同步辐射装置X射线深度曝光,可得到深宽比45～90,深度大于450微米,细线宽5～10微米的良好光刻图形.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 采用双离子束共溅射方法制备了SiOX薄膜,XRD和TEM的分析表明SiOX薄膜为非晶结构,XPS分析表明样品主要是以SiO190的形式存在于薄膜中.其光吸收谱呈现了明显的吸收边蓝移现象,且随...
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11. PZT压电薄膜在MEMS中的应用刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 从MEMS应用的角度介绍了PZT压电薄膜的制备、集成工艺与压电系数的测量,并给出了压电薄膜在MEMS中的应用实例.
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12. 磁性材料专用设备走出国门刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要：
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 用热丝CVD方法制备了常规和纳米金刚石薄膜.测量了其电阻率、介电常数和损耗角正切值.实验结果表明,常规金刚石薄膜的电导率、损耗角正切值均小于纳米金刚石薄膜,介电性能比较理想.两种薄膜的介电常...
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14. 微纳米加工表面和表层的完整性评价刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 对近年微纳米表面和表层的完整性评价技术和检测方法作了综合性概述,并且应用现有的高精度现代化测试设备,对超精密加工的硅、锗、玻璃、硬质合金、铝等材料的几种性能进行了实验研究,证明了这些手段和评...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅,获得悬梁结构的红外热堆探测器.该探测器用LPCVD(低压化学气相沉积)氮化硅膜,与热氧化得到的氧化硅膜形成...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 利用自制的扫描隧道显微镜(STM),进行了石墨表面的纳米级加工研究.在用STM对固体材料表面进行纳米级超微加工过程中,当探针-试样间施加一高电压脉冲时,电子反馈回路将使探针急速回缩,导致实际...
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17. 一种新型微机械硅弹簧的设计与制作刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 介绍了一种新型的微机械硅弹簧的设计和制作,运用能量方法推导出了弹性常数的计算公式,并用有限元模拟分析方法求出了其固有频率.有限元模拟工具AN-SYS模拟的结果验证了弹性常数的计算公式,理论分...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 针对MEMS光开关的相关技术问题,就国内外基于MEMS光开关的研发及其产业化概况以及我国与国外在该领域中存在的差距进行了阐述和分析.给出了加快我国基于MEMS光开关研发与产业化的几点建议.
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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