PZT压电薄膜在MEMS中的应用

• 作者: 徐东 王莉 胡正军 蔡炳初
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压电薄膜 PZT
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 44-49
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3965字
• 语种: 中文

摘要

从MEMS应用的角度介绍了PZT压电薄膜的制备、集成工艺与压电系数的测量,并给出了压电薄膜在MEMS中的应用实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡正军	上海交通大学信息存储研究中心	1	30	1.0	1.0
2	王莉	上海交通大学信息存储研究中心	85	773	14.0	24.0
3	徐东	上海交通大学信息存储研究中心	23	187	6.0	13.0
4	蔡炳初	上海交通大学信息存储研究中心	49	769	15.0	26.0