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微细加工技术2006年第3期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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1. 微细切削加工技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 介绍了微细切削加工技术的研究背景,并对其研究现状进行了评述,分析了微细切削加工技术在研究与发展过程中存在的主要问题,提出了将来的研究方向.
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2. 图形发生器的成像系统刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 为实现电子束曝光机扫描场的线性畸变校正,设计了图形发生器的成像系统,该系统包括硬件和软件两部分.硬件设计上使用了高速、高精度模数转换器,并对其工作方式及图像采集流程做了具体阐述.软件设计上利...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的原理,详细分析了此系统的硬件设计、软件设计以及扫描场的校正过程.利用硬件获取扫描图像,并进行实时标记校正,利用软件进行标记位置识别和校正参数计算,满...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 利用Prolith 9.0软件计算了浸没式ArF光刻中杂散光、光线偏振态和几何像差对目标线宽为65 nm的L形图形成像质量和光刻性能的影响,研究了杂散光、光线偏振态和几何像差对L形图形成像质...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 针对生物芯片中广泛应用的高聚物材料,利用其对波长为10.6 μm的CO2激光具有良好的吸收性这一特点,对生物芯片储液池进行加工.根据理论分析,提出影响切割表面粗糙度的主要因素在于激光功率P、...
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6. 碳纳米管的微操纵刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 利用原子力显微镜对碳纳米管进行微操纵研究.首先,选择出适合系统使用的基底;然后,在基底上利用原子力显微镜接触模式,成功地对碳纳米管束进行了推动、切割和弯曲等操纵;最后,讨论了影响微操纵的一些...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 为了在平面微电机有限大尺寸的定子上制作高深宽比结构的绕组线圈,对高深宽比微结构的制作工艺进行了研究,综合比较各方面因素,从中找出了成品率高、可重复性好、工艺步骤尽量简单的平面线圈制作工艺,即...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 介绍了放射性同位素63Ni同位素微电池(radioisotope micro battery)的工作原理、结构和性能指标,建立了电池电流的计算公式.针对传统同位素微电池的倒三角直槽型或倒金字...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 为了分析超疏水表面的物理特性及应用前景,介绍了粗糙超疏水表面的两种理论模型,提出了一种基于MEMS加工技术的超疏水表面制备工艺,即利用ICP刻蚀工艺制备规则的硅方柱,并用旋转涂覆Teflon...
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10. 一维压电式微定位机构的设计研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 针对精密工作台高速、低精度的矛盾,以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器,研究、设计了一种一维高分辨率压电式微定位机构.由于精密工作台高速运动产生的运动惯量较大,欲实现亚微米级的定位精度是很...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 以硅片表面的平整度(flatness)和硅片表面的全场厚度范围(TTV)等参数为基础,建立了硅片表面的理论形貌模型.根据调焦调平测量系统指标等确定了调焦调平测量系统的有效频带,并设计了相应的...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 采用一种称为微喷射的新方法制备了微米尺度金属银线.在该方法中,用压电陶瓷驱动器提供的微振动实现微喷嘴内部液柱的均匀破碎和喷射,并通过微喷射系统,把银氨溶液和还原剂溶液喷射到基材表面.采用金属...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 基于碳纳米管(CNTs)能沉积到3-氨丙基三乙氧基硅烷(APTES)自组装膜表面而定位,采用自组装方法,在硅基底上制备了具有氨基表面的APTES自组装膜.将APTES自组装膜浸入碳纳米管分散...
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14. 微流控芯片热压键合设备的结构设计刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 以塑料微流控芯片的热压加工技术为基础,以实现自动化和批量化为目标,对芯片热压键合设备的机械结构进行设计研究,在保证芯片受压均匀的情况下,对设备机身的结构、加压方式等进行了分析,确定设备机身采...
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15. 激光扫描加工图形控制模型的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 针对激光扫描加工中存在固有图形畸变的情况,提出了DEA(dual-ends approch)控制模型.由于该模型不仅考虑了透镜焦距f、激光入射角θ、振镜偏转角和光学镜组之间的距离,而且还考虑...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年3期页码:摘要：
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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