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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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4084
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19905
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  • 121. 类金刚石薄膜的反应离子刻蚀
    作者： 吴卫东 唐永建 孙卫国 张继成 朱永红 郭强 陆晓曼
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  570-574
    摘要： 为了刻蚀出图形完整、侧壁陡直、失真度小、独立的类金刚石薄膜微器件,反应离子刻蚀是一种有效地刻蚀方法.研究了氧气与氩气的混合气体进行类金刚石薄膜刻蚀的主要工艺参数(刻蚀时间、有无掩膜、氩氧体积...
  • 122. 掺铝氧化锌透明导电薄膜的表面织构研究
    作者： 刘玉芬 卢景霄 林清耿 郜小勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  575-578
    摘要： 利用中频直流磁控反应溅射法在玻璃衬底上首先制备了掺铝氧化锌(AzO)透明导电薄膜,然后利用5%的氯化铵(NH4Cl)溶液对制备的AZO薄膜进行表面织构.利用扫描电子显微镜(SEM)、四探针法...
  • 123. 线性电磁搅拌对K417高温合金母合金锭质量的影响
    作者： 李军 李廷举 殷国茂 金文中
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  579-583
    摘要： 为了提高高温合金母合金锭的质量,本文提出了在高温合金真空熔铸过程中,施加线性电磁搅拌的真空电磁铸造新技术.使用电子探针和光学显微镜,研究了在真空熔铸的凝固过程,施加工频线性电磁搅拌对K417...
  • 124. 磁场对聚酯圆筒内表面C2H2等离子体处理的影响研究
    作者： 李景 杨士勤 田修波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  584-589
    摘要： 研究了不同磁场约束条件下QH2射频放电对唧圆筒内表面性能的影响规律.利用傅里叶变换红外光谱(rriR)对不同等离子体条件下处理的聚酯样品表面进行了分析.并且通过接触角测试仪对沿聚酯圆筒轴线方...
  • 125. 激光源原子氧对Kapton薄膜和Kapton/Al薄膜二次表面镜性能的影响
    作者： 何世禹 何松 李春东 李胜刚 杨士勤 田修波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  590-595
    摘要： 在模拟空间环境原子氧暴露条件下,采用激光源原子氧对热控涂层材料Kgpton薄膜、Kapton/Al薄膜二次表面镜进行了不同剂量的暴露试验.研究了这两种材料的质量损失、表面形貌随原子氧暴露剂量...
  • 126. 荫罩式等离子体显示板荧光粉制备的研究
    作者： 刘凯 张雄 戴惠 樊兆雯 王保平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  596-599
    摘要： 本文以开发高分辨率荫罩式等离子体显示板(SMPDP)的荧光粉涂覆工艺为目的,采用丝网印刷法完成荫罩涂粉工艺.通过优化印刷图案及工艺参数,在200 nm×200mm面积的、O.227×RGB×...
  • 127. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年5期
    页码:  插1
    摘要：
  • 128. 《真空科学与技术学报》征稿说明/规范关键词选择的决定(试行)/学术论文英文摘要写作质量标准
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年4期
    页码:  插1
    摘要：
  • 129. 第十六届国际二次离子质谱学会议概况
    作者： 查良镇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年2期
    页码:  后插1-后插2
    摘要：
  • 130. 电致变色热控器件透明导电层的制备与研究
    作者： 何延春 吴春华 王洁冰 许旻 赵印中 邱家稳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  83-87
    摘要： 本文针对电致变色热控器件的透明导电层开展了ITO薄膜的制备工艺研究,对薄膜制备过程中的几个主要影响因素(溅射压强、氩/氧比例、退火温度等)进行了分析,并测试了薄膜性能,制备的ITO薄膜电阻在...
  • 131. 薄膜的应力控制技术研究现状
    作者： 蒋钊 陈学康
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  17-21
    摘要： 薄膜应力普遍存在于薄膜元器件中,从而影响薄膜器件性能,限制了其良好的应用前景.所以控制薄膜的应力,消除其不良影响,是薄膜生产工艺中不可或缺的技术手段.本文对此详细阐述了几种常用的薄膜应力控制...
  • 132. 辅助离子束功率密度对透明塑料上室温磁控溅射沉积ITO薄膜结构和形貌的影响
    作者： 伍建华 张官理 望咏林 温培刚 颜悦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  1-4
    摘要： 基于双极脉冲磁控溅射复合离子束辅助沉积的新工艺,在透明塑料聚碳酸酯基片上,常温制备了透明导电的铟锡氧化物(ITO)薄膜.重点研究了不同辅助离子束功率密度对ITO薄膜晶体结构和表面形貌的影响....
  • 133. ZnO:Mn稀磁薄膜光学性质和铁磁行为分析
    作者： 于威 傅广生 张子才 张锦川 杨丽华 滕晓云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  22-25
    摘要： 采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上制备了不同Mn掺杂浓度的ZnO薄膜.实验结果表明,合适浓度的Mn的掺人,有利于ZnO:Mn薄膜(002)生长而不形成Mn的氧化物,同时,所...
  • 134. 电弧离子镀TiAlN涂层的热疲劳及抗氧化性能
    作者： 严鹏 姬寿长 李争显 潘晓龙 王宝云 王少鹏 黄春良
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  60-63
    摘要： 采用独立的高纯钛、铝靶,在TC4钛合金基材表面以电弧离子镀工艺沉积制备了TiAIN涂层.利用扫描电子显微镜(SEM)对比分析了钛合金基体和涂层热疲劳及氧化前后的表面形貌,利用能谱仪(EDS)...
  • 135. 离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响
    作者： 曹猛 李强 李德军 杨莹 邓湘云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  29-32
    摘要： 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZxN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温...
  • 136. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  插1
    摘要：
  • 137. 脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究
    作者： 张礼平 李剑锋 李国卿 楚信谱 苟伟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  33-37
    摘要： 类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注.本文利用脉冲辉光PECVD在不同的脉冲电压下成功地制备了DIE薄膜....
  • 138. 等离子体辅助ITO薄膜低温生长
    作者： 张天伟 杨会生 王燕斌 罗庆红 陆永浩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  74-78
    摘要： 采用基片加热和后期热处理的手段使ITO薄膜结晶和调整其组织结构来降低电阻的方法,已经被广泛应用于在玻璃等基体上制备ITO薄膜.但是随着不耐高温的柔性基体的广泛使用,ITO薄膜低温生长已经成为...
  • 139. TiC薄膜的性能研究
    作者： 朱昌 梁海峰 邵霄
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  56-59
    摘要： 采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,...
  • 140. 在塑料表面用磁控溅射制备电磁屏蔽膜的研究
    作者： 任高潮 王德苗 苏达 赵欢畅 陈省区
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  98-101
    摘要： 随着电磁污染的日益严重以及塑料在电子产品封装上的广泛应用,对电子产品进行电磁屏蔽设计已成为必然趋势.本文采用磁控溅射的方法在PET塑料基底上沉积多种膜系的金属屏蔽膜层,并对金属膜层的制备工艺...
  • 141. 调制周期对TiB2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响
    作者： 亢原彬 刘思鹏 李德军 王晖 邓湘云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  26-28
    摘要： 利用射频磁控溅射技术,在室温下合成了具有纳米调制周期的TiB2/TiAlN多层膜.分别采用表面轮廓仪、纳米力学测试系统、多功能材料表面性能实验仪和XRD,分析了调制周期对TiB2/TiAlN...
  • 142. Pt插层对NiFe/FeMn薄膜交换耦合的影响
    作者： 于广华 刘洋 李明华 金川
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  5-8
    摘要： 采用磁控溅射方法制备了以Pt为缓冲层和保护层的NiFe/FeMn薄膜.在NiFe/FeMn界面插入Pt,发现交换偏置场(Hex)随着插层Pt厚度(tPt)的增加而减小.一个重要的现象是当Pt...
  • 143. 非平衡磁控溅射沉积TiN/Ti-O复合薄膜机械性能研究
    作者： 何婵 冷永祥 黄楠 齐峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  47-51
    摘要： 本文利用非平衡磁控溅射设备,采用四种不同的TiN到Ti-O的过渡方式,在Si(100)和Ti6A14V基体上制备了TiN/Ti-O薄膜.采用X射线衍射(XRD)分析薄膜的结构;使用AMBIO...
  • 144. V2O5复合薄膜材料的制备
    作者： 吴广明 周斌 张明霞 杨辉宇 汪国庆 沈军 牛锡贤 王爱荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  68-73
    摘要： 本文采用了单壁碳纳米管(SWCNTs)与V2O5气凝胶进行复合.首先采用混酸处理的方法对SWCNTs进行预处理,然后与V2O5溶胶进行复合.V2O5复合气凝胶薄膜材料的制备过程,主要是以v2...
  • 145. 溅射角度对氧化铬薄膜性能结构的影响
    作者： 于栋利 张天伟 杨会生 王燕斌 罗庆洪 陆永浩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  13-16
    摘要： 硬质涂层对工件表面改性已经成为现代先进制造加工行业越来越重视的工艺,工件一般为复杂外形,保证工件表面涂层性能结构的一致性尤为重要,为此,必须研究工件与靶源之间的相对位置对涂层结构性能影响的关...
  • 146. 生长参数对Si1-xGex:C合金薄膜中元素分布的影响
    作者： 修向前 吴军 夏冬梅 张荣 梅琴 王荣华 葛瑞萍 谢自力 赵红 郑有炓 韩平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  52-55
    摘要： 用化学气相淀积方法在Si(100)衬底上外延生长Ge组分渐变的Si1-xGex:C合金薄膜.本文通过能量色散谱仪乔(EDS)和扫描电子显微镜(SEM)对合金薄膜的元素深度分布和表面形貌进行了...
  • 147. 工艺参数和热处理温度对ZrW2O8薄膜制备的影响
    作者： 付廷波 刘红飞 张志萍 程晓农
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  42-46
    摘要： 采用WO3和ZrO2复合陶瓷靶材,以射频磁控溅射法在石英基片上沉积制备了ZrW2O8薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、表面粗糙轮廓仪和扫描电子显微镜(SEM),研究了不同工艺参数和不同退火温...
  • 148. 直流磁控溅射辉光等离子体的Langmuir静电探针诊断
    作者： 伍建华 张官理 张定国 徐军 望咏林 温培刚 董闯 陆文琪 颜悦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  79-82
    摘要： 与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针.应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断.诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密...
  • 149. GaN/Al2O3(0001)上Ge薄膜的CVD外延生长
    作者： 吴军 张荣 曹亮 梅琴 王荣华 葛瑞萍 谢自力 郑有炓 陆海 陈鹏 韩平 顾书林
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  9-12
    摘要： 本工作采用化学气相淀积方法,以GcH4为反应气源,以InN/CaN/Al2O3(0001)复合衬底作陪片,在CaN/Al2O3(0001)复合衬底上外延生长了Ge薄膜,并对生长机理进行了探讨...
  • 150. AZ31镁合金表面复合镀膜工艺研究
    作者： 夏元化 张礼平 李剑锋 李国卿 王兆松 董闯
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年z1期
    页码:  38-41
    摘要： 研究了在AZ31镁合金表面依次进行浸锌、化学镀镍、电镀铜、电弧离子镀Cr/CaN的复合镀膜工艺.结果表明,在此复合镀工艺条件下,可以在AZ31镁合金表面形成致密度高、结合强度好、耐蚀性好且硬...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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