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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 基底温度对NiOx薄膜性质的影响及其电致变色机理研究
    作者： 刁训刚 张金伟 武哲 王天民 王怀义 舒远杰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  189-193
    摘要： 采用磁控溅射法在不同基底温度的条件下制备NiOx薄膜.对制备的薄膜采用XRD、SEM、Raman、XPS、可见光分光光度计及循环伏安曲线等测试手段进行对比分析.结果表明,在低温条件下制备的N...
  • 2. 对薄膜CrAlTi(Y)N硬度的研究
    作者： 刘兆政 刘耀辉 蒋百灵
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  194-198
    摘要： 本文研究了Al靶中加入不同含量的稀土钇(Y)对CrAlTiN薄膜硬度的影响.并应用原子力显微镜(AFM)、能谱仪(EDS)、纳米压入仪、显微硬度计对薄膜样品进行分析.结果表明,CrAlTiN...
  • 3. P型掺锌硫化铜铝透明导电薄膜的制备和性能研究
    作者： 张群 施展 李桂锋 王颖华 谭华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  199-202
    摘要： 采用渠道火花烧蚀技术,在普通玻璃基板上制备掺锌硫化铜铝CuAl0.90Zn0.10S2透明导电薄膜.运用X射线衍射法(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析薄膜的晶体结构和表面形貌.研究不同的...
  • 4. 空间等离子体环境模拟与地面试验技术
    作者： 刘业楠 孙立臣 童靖宇 贾瑞金
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  203-207
    摘要： 为了研究电离层等离子体环境与航天器的相互作用,北京卫星环境工程研究所研究了一台空间等离子体模拟试验设备.设备尺寸为Φ1500 mm×3000 mm,采用微波电子回旋共振等离子体源,试验容器的...
  • 5. PbTe薄膜表面氧化机理研究
    作者： 吴惠桢 吴海飞 夏明龙 张寒洁 徐天宁 斯剑霄 王擎雷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  208-212
    摘要： 用分子束外延方法在BaF2(111)衬底上生长了PbTe单晶薄膜,原子力显微镜(AFM)的表面形貌表征显示PbTe表面具有单原子层的平整性,并观察到由螺位错形成的螺旋台阶面.高分辨X射线衍射...
  • 6. 同轴结构8mm扩展互作用振荡器的分析研究
    作者： 叶际若 吴坚强 尹晓辉 鄢扬
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  213-217
    摘要： 为了克服扩展互作用振荡器采用实心电子注输出功率受限制的问题,本文设计了一种新型的同轴毫米波扩展互作用振荡器.采用MAGIC粒子模拟软件分别对高频系统和电子枪进行了数值模拟,分析了聚焦磁场、电...
  • 7. 矩形平面磁控溅射装置薄膜沉积仿真
    作者： Finely Jim Jiao Yu 励庆孚 苏静静 邱清泉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  218-224
    摘要： 薄膜厚度沿矩形靶长度方向分布的均匀度是衡量矩形平面磁控溅射装置镀膜质量的重要指标.为了分析气压和靶基板间距对该指标的影响,本文采用Monte Carlo方法,在假设靶材沿跑道均匀刻蚀的前提下...
  • 8. 掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究
    作者： 何晓雄 巫邵波 李合琴 王淑占 赵之明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  225-229
    摘要： 本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N).拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,...
  • 9. 不同衬底上沉积硅薄膜的固相晶化研究
    作者： 张宇翔 李红菊 王俊平 郭敏 陈庆东 高哲
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  230-234
    摘要： 本文用电化学腐蚀方法制备了多孔硅,并在多孔硅、石英、单晶硅片上用PECVD沉积了本征和P型硅膜,然后将硅膜分别用不同的温度和时间做固相晶化,借助Raman、SEM和XRD等手段对退火前后的硅...
  • 10. 载气对CIGS薄膜结构和表面形貌的影响
    作者： 元金石 庄大明 张弓 李春雷 韩东麟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  235-239
    摘要： 采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜.分别以N2和Ar为载气,采用硒蒸汽硒化法制备了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了N2和Ar流...
  • 11. 过渡金属Mn对SiC薄膜的结构和光学性能的影响
    作者： 宋曙光 沈鸿烈 王美玲 袁成逸 高超
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  240-243
    摘要： 采用射频磁控溅射的方法在Si衬底上制备了掺Mn的SiC薄膜,用X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、扫描电镜及荧光光谱等方法,对薄膜的结构、表面形貌、化学键状态和光学性能进行了研究.结果表明:掺M...
  • 12. 纤维基ZnO/Ag/ZnO多层膜的制备、结构及性能研究
    作者： 刘江峰 邓炳耀 高卫东
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  244-247
    摘要： 利用射频磁控溅射法,室温下通过交替溅射ZnO和Ag,在PET纤维基材上制备ZnO/Ag/ZnO纳米结构多层膜.运用扫描电镜和原子力显微镜对薄膜表面形貌进行分析,用分光光度计测试其透光性能,用...
  • 13. N+离子注入聚(2-甲氧基-5-辛氧基)对苯乙炔薄膜的微观结构
    作者： 吴洪才 孙建平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  248-251
    摘要： 通过双醚化反应、氯甲基化反应以及在强碱性条件下进行的脱氯化氢反应,制备出新型光电功能材料聚(2-甲氧基-5-辛氧基)对苯乙炔(PMOCOPV).采用能量为30 keV,剂量为1.2×1016...
  • 14. 射频磁控溅射法制备Al2(WO4)3薄膜和负热膨胀性能研究
    作者： 刘红飞 屈展 张志萍 程晓农
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  252-255
    摘要： 采用WO3和Al2O3陶瓷靶材,以双靶交替射频磁控溅射法,在石英基片上沉积制备了Al2(WO4)3薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM),研究了退火温度对Al2(WO4)...
  • 15. 柔性衬底ITO薄膜的制备及其光电性能研究
    作者： 刁训刚 张鲁豫 王天民 胡小草 郝维昌 郝雷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  256-260
    摘要： 在室温下,采用直流反应磁控溅射法,在聚酯薄膜(PET)衬底上镀制了高性能的ITO薄膜.为了提高薄膜与基底的结合力,溅射前采用多弧离子源对PET表面进行了等离子体清洗.研究了溅射工艺参数对IT...
  • 16. 类金刚石薄膜对纯钛的磨损保护及安全性评价
    作者： 尹路 弥谦 赵雯 郭天文
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  261-265
    摘要： 评价了以TiN为过渡层的类金刚石(DLC)复合梯度膜对齿科纯钛(TA2)的磨损防护效果以及生物安全性.采用脉冲真空多弧等离子体镀膜机,在齿科纯钛表面镀制TiN梯度膜和DLC表面膜.在体外对比...
  • 17. 宽束冷阴极离子源的工作特性研究
    作者： 严一心 弥谦 徐均琪 杭凌侠 董网妮
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  266-270
    摘要： 介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的改进的宽束冷阴极离子源,详细叙述了该源的工作原理和放电过程,并对离子源的工作特性进行了研究.结果表明,这种离子源可以在4.5×10-3 Pa的高真空度下...
  • 18. 平面磁控溅射靶磁场的计算
    作者： 张鹏云 牟宗信 贾莉 赵华玉 郝胜智
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  271-274
    摘要： 精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要.本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场,发现减少磁...
  • 19. MEMS真空熔焊封装工艺研究
    作者： 关荣锋
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  275-279
    摘要： MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段.本文应用实验方法,在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺.对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试,结果发...
  • 20. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2008年3期
    页码:  280
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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