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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 121. 基于离子交换技术的表面传导电子发射源制备
    作者： 吴胜利 张劲涛 张秀玲 王文江
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  577-581
    摘要： 本文介绍了采用离子交换技术制作表面传导电子发射源的原理和方法,应用离子交换技术制作了发射材料为金属Pd的表面传导电子发射源.分别研究了加电形成工序和激活工序中器件电流、发射电流随器件电压的变...
  • 122. 氧化铝真空碳热还原-氯化法炼铝的工艺研究
    作者： 徐宝强 戴永年 朱富龙 杨斌 袁海滨 郁青春
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  582-587
    摘要： 本文采用金属铝直收率、物料失重率、X射线衍射与扫描电子显微镜、能谱仪等手段与方法,研究了真空条件下氧化铝碳热还原温度、氯化铝升华速率、物料配比、碳热与氯化时间以及添加剂对氧化铝碳热还原-氯化...
  • 123. 真空蒸发制备稀土Dy掺杂CdTe薄膜及其特性研究
    作者： 何志刚 安晓晖 李忠贤 李蓉萍 董海成
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  588-592
    摘要： 采用双源蒸镀法制备了稀土Dy掺杂CdTe薄膜,并对薄膜的晶体学和光学性质进行了研究.结果表明,掺杂Dy使薄膜中富Te的情况更加严重,且使CdTe薄膜具有了沿(111)晶向的择优取向,同时掺杂...
  • 124. 凹模内腔等离子体离子注入数值仿真-(I)脉冲宽度效应
    作者： Ricky Fu 巩春志 杨士勤 汪志健 王蓬 田修波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  593-598
    摘要： 模具表面改性日益受到人们重视.本文采用二维Particle-in-cell/Monte Carlo Collision模型对等离子体浸没离子注入处理凹模型腔内表面的鞘层动力学及均匀性进行了研...
  • 125. 一种形成高椭圆率带状电子注的新方法
    作者： Gun-sik Park 刘濮鲲 宫玉彬 岳玲娜 巩华荣 徐翱 徐进 段兆云 殷海荣 王战亮 路志刚 陈蓓然 魏彦玉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  599-603
    摘要： 带状电子注器件(或平面结构器件)是一种新型的高功率毫米波、亚毫米波源.其中,如何产生带状电子注对于该种器件来说至关重要.本文基于对射线方程的研究,猜想椭圆螺线管能够实现常规圆柱电子注到带状电...
  • 126. 真空开关电弧图像面积变化研究
    作者： 吴延清 田小静 矫文聪 董华军 邹积岩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  604-607
    摘要： 真空电弧在燃烧过程中的形态变化对真空开关的开断性能有着重要的影响.为了实现对真空开关电弧形态燃烧过程的定量分析,提出了真空开关电弧图像面积概念,并对影响电弧面积变化的真空间隙、电压、磁场三因...
  • 127. 凹模内腔等离子体离子注入数值仿真——(Ⅱ)工作气压的影响
    作者： Ricky Fu 巩春志 杨士勤 汪志健 王蓬 田修波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  608-613
    摘要： 模具表面改性对提高模具使用寿命和生产率有着十分重要的意义.本文采用二维Particle-in-cell/Monte Carlo collision模型对不同气压下等离子体离子注入处理凹模型腔...
  • 128. 新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算
    作者： 代伟 吴国松 周毅 孙丽丽 李洪波 汪爱英
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  614-620
    摘要： 本文用ANSYS软件对新型的45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统中的磁场分布进行了模拟计算,并结合等离子体传输和电弧源弧斑运行稳定性进行了分析.在建立的数学模型基础上,分别研究了磁过滤弯管...
  • 129. ZnO/TiO2复合纳米材料的制备及其在染料敏化太阳电池中的运用
    作者： 孙大林 莫晓亮 郑凯波 陈冠雨 陈国荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  621-625
    摘要： 本文在长有ZnO纳米粒子作为"种子层"的FTO基底上用水热合成法制备了取向高度一致的ZnO纳米线阵列,用TiCl4的异丙醇溶液在ZnO纳米线阵列的表面生长了纳米结构的TiO2.利用扫描电子显...
  • 130. 气体分子以分子流态通过直圆管道时的位置分布计算
    作者： 姬国钊 张世伟 梁文升 韩进
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  626-631
    摘要： 针对气体分子以自由分子流态通过一段直圆管道的问题,将分子划分为从入口直达出口的直通分子和经过管壁反射后到达出口或入口的反射分子这两种类型,分别建立了流动数学模型.从余弦定律出发,推导出两类分...
  • 131. 不同沉积速率微晶硅薄膜生长模式的蒙特卡洛模拟研究
    作者： 丁艳丽 卢景霄 朱志立 王志永 谷锦华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  632-635
    摘要： 采用标度理论比较了不同速率下微晶硅薄膜的生长模式.结果是:低速时薄膜的生长指数为0.19,高速时薄膜的生长指数为0.61,两者生长机理明显不同.通过蒙特卡洛模拟薄膜生长过程,结果表明:生长基...
  • 132. 信息动态
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  636
    摘要：
  • 133. 一种基于向量空间模型的质谱谱库检索算法
    作者： 代丽 汪曣 蒋学慧 赵学玒 黄超
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  637-640
    摘要： 本文基于向量空间模型,提出了一种质谱谱库检索算法.该算法将质谱图数据向量化,并定义一个质量数向量空间,质谱图被表示成质量数空间内的一组向量,并利用向量间的相似性计算方法,实现质谱谱库的检索....
  • 134. SnO2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展
    作者： 巴德纯 李建昌 韩娜 韩小波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  641-650
    摘要： 甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体.SnO2半导体薄膜制备工艺简单、成本低廉、性能稳定,是甲烷传感器研发的主流气敏材...
  • 135. 基于WMQPSO算法的慢波结构优化设计
    作者： 唐康淞 夏克文 张新颖 李实 赵东明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  651-656
    摘要： 本文首次将带惯性权重的多目标量子粒子群(WMQPSO)算法应用到空间行波管慢波结构优化中.仅以提高电子效率为目标优化时,电子效率提高了6%,但非线性相移变大;以提高电子效率和减小非线性失真为...
  • 136. 球性食品真空冷却非稳态过程的数值分析
    作者： 潘迎捷 谢晶 韩志
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  657-661
    摘要： 通过引入食品材料透气性参数和食品内部到表面的最短距离,建立了食品真空冷却过程的传热模型.在此基础上,采用用户自定义函数编程,首次基于FLUENT模拟了球形食品真空冷却过程.以卷心菜真空冷却为...
  • 137. 氮气分压对电弧离子镀CrNx薄膜组织结构的影响
    作者： 关庆丰 孙超 宫磊 张晓柠 郑陈超 陈康敏 黄燕
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  662-666
    摘要： 利用电弧离子镀技术在钛合金表面制备CrNx薄膜,分析讨论氮气分压对薄膜表面形貌、相组成和微观结构的影响.结果表明,随着氮气分压的升高,CrNx薄膜表面熔滴的数量及尺寸减少,表面平整度得到明显...
  • 138. 硅掺杂辉光放电聚合物薄膜的成分结构分析
    作者： 何智兵 唐定平 李玲 谢征微 闫建成 阳志林 陈志梅
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  667-670
    摘要： 以H2、反式二丁烯(T2B)和四甲基硅烷(TMS)混合气体为工作气体,在不同TMS流量条件下,用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了Si掺杂辉光放电聚合物(GDP)薄膜.采用傅里叶变换红外光...
  • 139. 质谱法测量OLED封装材料的气体渗透率
    作者： 吴启鹏 李军建 王栋梁
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  671-675
    摘要： 本文介绍了质谱法渗透率测量系统和测量方法,利用该系统测量了水蒸汽、O2和CO2等气体对PET塑料薄膜和环氧树脂薄膜的渗透率,对所获得的实验结果进行了分析;结果表明PET塑料薄膜的水蒸汽渗透系...
  • 140. 沉积温度对IMO透明导电薄膜光电性能的影响
    作者： 刘伟 张树玉 袁果 闫兰琴 黎建明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  676-679
    摘要： 采用射频磁控反应溅射法在K9玻璃衬底上制备了掺钼氧化铟(Mo:In2O3,IMO)透明导电薄膜,研究了不同沉积温度条件下IMO薄膜的晶体结构、形貌及光电性能.结果表明:不同沉积温度下IMO薄...
  • 141. In掺杂和退火对磁控溅射制备ZnO薄膜的结构和光电性质的影响
    作者： 吴芳 周科 彭丽萍 方亮 杨小飞 阮海波 黄秋柳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  680-684
    摘要： 用射频磁控溅射技术在石英玻璃衬底上制备出ZnO和In掺杂的ZnO(ZnO∶In)薄膜,研究了In的掺杂和退火对薄膜的结构和光电性质的影响.所制备的薄膜为纤锌矿结构的ZnO相,In的掺杂有利于...
  • 142. 氟化非晶碳膜结构的Raman和FTIR研究
    作者： 肖剑荣 蒋爱华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  685-689
    摘要： 利用反应射频磁控溅射法,以单晶Si片为衬底,在不同功率下制备了氟化非晶碳膜样品,并进行了不同温度的退火处理.采用拉曼光谱、傅里叶变换红外光谱和原子力显微镜对样品的结构进行了表征.通过谱线Lo...
  • 143. TiC/DLC多层膜的制备及组织形态
    作者： 侯惠君 张馨 李福球 林松盛 肖晓玲
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  690-694
    摘要： 本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,以甲烷气体为碳源,99.99%Ti为靶材制备了TiC/DLC多层膜.利用X射线衍射仪、电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等对TiC/DLC多层膜的组织、结...
  • 144. 吸入压力对水蒸汽喷射泵抽气性能影响的数值分析
    作者： 屠基元 王晓冬 董敬亮
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  695-698
    摘要： 为研究水蒸汽喷射泵内部工作蒸汽与被抽气体的流动及其相互作用规律,考察被抽气体压力改变引起的膨胀比、压缩比变化对泵性能的影响机制,基于realizable k-ε湍流模型,建立了描述喷射泵内跨...
  • 145. 微波管电子束的模拟计算
    作者： 吴迅雷 姬乃军 张兆传
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2010年6期
    页码:  699-703
    摘要： 根据工程实际的需要,对目前使用的微波管电子光学计算程序进行一些改进.一方面重新设计了友好的人机交互界面,另一方面从改进电子枪阴极电子发射模型,考虑温度、相对论效应和电子初始能量等因素的影响,...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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