真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 刘纯亮 张小宁 张玉娟 王文江
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  857-860
    摘要: 为了应用于场发射显示器,采用电化学阳极氧化,快速热氧化和磁控溅射等方法制备出了金属/多孔硅/硅基底/金属结构的多孔硅电子发射体,并运用扫描电子显微镜观察了多孔硅的微观形貌,结果发现多孔硅的孔...
  • 作者: 刘腊梅 赵世柯
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  861-866
    摘要: 为了降低材料的二次电子发射系数,本文对高导电无氧铜(OFHC,简称无氧铜)进行离子束表面改性处理,并研究其最优工艺条件,重点考查了温度、时间等工艺参数对表面形貌以及二次电子发射系数(δ)的影...
  • 作者: 王勇 葛萌
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  867-871
    摘要: 采用等效电路理论,建立了双耦合口输出腔间隙阻抗频率特性的冷测模拟计算方法.运用该方法,并借助CST-MWS三维电磁场计算软件,计算分析了某S波段单间隙双耦合口输出腔的间隙阻抗频率特性.结果显...
  • 作者: 孙刚 张林 林国强 胡建军 胡霖 马国佳
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  872-877
    摘要: 用电弧离子镀技术在TC4钛合金基体上通过改变偏压制备了4组TiN/CrN薄膜,对薄膜的表面形貌、厚度、相结构、硬度、膜基结合力和摩擦系数等组织、性能进行了测试表征.结果表明,薄膜是由TiN相...
  • 作者: 杨巍 柯培玲 汪爱英 蒋百灵
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  878-883
    摘要: 借助直流脉冲微弧氧化(MAO)电源,采用恒压模式在AZ80镁合金表面制备四种不同厚度MgO陶瓷层,并以此为基,采用离子束复合磁控溅射技术沉积类金刚石碳(DLC)膜,对比研究了四种膜层体系(M...
  • 作者: 丁明清 冯进军 李莉莉
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  884-888
    摘要: 无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善.结合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的工艺研究结果,本文就沉积速率、晶面取向以及内应力...
  • 作者: 冯乃祥 尤晶 王耀武 胡文鑫
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  889-895
    摘要: 对CaF2在以白云石和菱镁石为原料的铝热还原过程中的行为进行了研究,通过X射线衍射对还原渣和结晶产物的物相进行了分析,对CaF2在铝热还原过程的反应过程以及加速还原反应的机理进行了探讨.实验...
  • 作者: 周厚军 戴永年 李亮 杨斌 陈秀敏
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  896-901
    摘要: 以昆明理工大学真空冶金国家工程实验室氧化铝真空碳热还原炉为研究对象,依据传热学理论和氧化铝真空碳热还原炉的结构特点,分析了氧化铝真空碳热还原炉的加热和散热过程,并用有限元法建立了真空碳热还原...
  • 作者: 刘大春 刘环 戴永年 杨斌 魏钦帅
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  902-906
    摘要: 采用真空电阻炉对铟锡合金进行了实验研究.首先通过实验确定了较好的蒸馏时间和蒸馏温度范围.最后根据化验结果确定了对生产具有指导意义的实验条件,即对金属铟质量分数为90%的铟锡合金进行真空蒸馏时...
  • 作者: 王人成 胡伟
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  907-912
    摘要: 提出了一种铜靶刻蚀形貌模拟方法,基于靶材溅射率与靶材表面磁场水平分量成正比的假设,以美国应用材料公司的小行星PVD磁控溅射装置为算例,实现了复杂运动轨迹铜靶刻蚀形貌的模拟,仿真计算结果与实际...
  • 作者: 刘腾飞 穆怀普 裘一冰 陈长琦
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  913-918
    摘要: 基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律.通过调节磁铁的宽和高、磁铁间...
  • 作者: 李强 李德才 杨小龙 杨文明 邢斐斐
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  919-922
    摘要: 为了在磁流体密封结构的密封间隙内获得最大的磁能积以及提高磁流体密封的耐压能力,在磁路设计理论和磁流体密封理论的基础上,对一种并联型的磁流体密封结构进行磁路设计,采用有限元法数值计算出磁流体密...
  • 作者: 汪洪波 游锦山 陈长琦
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  923-927
    摘要: 针对真空度测量精度低的现状,提出一种真空度测量精度改善方法.以热偶规为研究对象,基于BP神经网络设计真空度测量系统.通过设计BP网络结构,采用三种不同的算法对网络权值进行训练,以获得尽可能稳...
  • 作者: 孙传强 汪曣 赵学玒
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  928-932
    摘要: 电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)具有对一种或多种基本元素、同位素快速分析的能力,在诸多领域有其广泛应用.本文对ICP-MS接口部分中等离子体气流及离子的运动过程进行了理论分析,基于Chi...
  • 作者: 吴明健 夏菲 杨瑞琴
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  933-936
    摘要: 介绍了一种利用磁控溅射镀锌技术显现潜手印的新方法.考察了磁控溅射镀锌法适合显现的手印遗留客体的种类、颜色,不同遗留时间对显现效果的影响,以及手印显现率.结果显示,磁控溅射镀锌法较适于显现深色...
  • 作者: 张志坚 张永爱 郑灼勇 郑隆武 郭太良 陈景水
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  937-942
    摘要: 以联苯四酸二酐和4,4’-二氨基二苯醚为单体原料使用气相沉积聚合(VDP)法制备了聚酰亚胺(PI)绝缘膜,分析不同热亚胺化处理温度对PI薄膜绝缘性能的影响.分别使用红外光谱、俄歇能谱、扫描电...
  • 作者: 侯雪艳 吴隽稚 巴德纯 李建昌 王紫瑄
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  943-950
    摘要: 从选择性吸收涂层的材料、结构、热稳定性及真空环境等方面综述了真空管式太阳能集热器的研究进展.不锈钢、Ti、Al、Ni类材料适于制备中低温选择性吸收涂层;而Mo和W类等高熔点材料,适于高温涂层...
  • 作者: 王云川 赵智忠
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  951-954
    摘要: 传统的真空灭弧室真空度测量方法只在一定的真空度范围内测量精度较高,且易受外界干扰,为了获得准确的真空度数据,使用横磁场脉冲磁控法和改进的屏蔽罩电位法测量真空度,利用联合卡尔曼滤波器对测量数据...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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