真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 姜文全 巴德纯 杜广煜 杨帆 查英英
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  849-852
    摘要: 基体-薄膜结构是微电子器件中的典型结构,尤其是金属薄膜已被广泛的应用到微电子器件上.金属薄膜在制备过程中产生的表面微裂纹对薄膜的力学性能有着较大的影响,并且表面微裂纹尖端扩展所导致的薄膜破裂...
  • 作者: 喻利花 许俊华 陈超 鞠洪博
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  853-857
    摘要: 采用射频磁控溅射制备不同V含量的CrSiVN薄膜.利用X射线衍射、扫描电镜、X射线能量色散谱、纳米压痕仪和摩擦磨损实验对薄膜的相结构、形貌、成分和摩擦性能进行分析.结果表明,CrSiVN薄膜...
  • 作者: 徐兵 胡志立
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  858-862
    摘要: 将硫粉、铌粉和钨粉按一定质量比混合,通过固相反应成功合成出NbS3/WS2纳米复合材料.分别使用X射线衍射仪、扫描电子显微镜分别分析了样品中的相成分和微观形貌.结果表明:NbS2/WS2纳米...
  • 作者: 喻利花 曹峻 许俊华 马冰洋
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  863-866
    摘要: 通过非平衡磁控溅射的方法制备了不同调制比的ZrCN/VN纳米结构多层膜,采用X射线衍射、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对薄膜的微结构、力学性能及摩擦性能进行了研究.结果表明,在ZrCN/VN多...
  • 作者: 任妮 武生虎 肖更竭 赵栋才 马占吉
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  867-870
    摘要: 在树脂基复合材料表面镀Al膜前,利用Ar离子束对基体表面进行清洗处理,当离子束清洗时间不同或离子束能量不同时,经万能拉伸试验仪、扫描电镜、X射线光电子谱测试发现,Ar离子束能对表面造成溅射现...
  • 作者: 向川 董华军 邹积岩 郑占峰 黄智慧
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  871-876
    摘要: 真空开关电弧形态演变与其物理特性的变化密切相关,对开关能否成功开断电流有重要影响.本文首先建立了真空开关开断故障电流产生电弧的实验系统.然后利用CMOS高速相机采集电弧燃烧过程,并对电弧形态...
  • 作者: 朱军 米百刚 詹浩
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  877-882
    摘要: 运用流体动力学数值仿真软件Fluent,结合动网格技术,通过求解二维可压缩非定常Navier-Stokes方程,对考虑可压缩性的高速,超高速列车空气阻力与真空管道阻塞比,真空度的关系进行了数...
  • 作者: 张天平 田立成 郭宁 顾左 龙建飞
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  883-887
    摘要: 安装在卫星上的霍尔推力器工作时喷出的高速束流会对卫星太阳电池阵列产生溅射,卫星太阳电池阵列溅射产物返回至卫星敏感区对敏感设备产生沉积污染.本文建立了兰州空间技术物理研究所LHT-100霍尔推...
  • 作者: 孟月东 方世东 沈洁 程诚 罗家融 陈龙威
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  888-892
    摘要: 为研究低温大气压等离子体灭菌机理,设计了一种单电极等离子射流装置.使用该装置对枯草杆菌芽孢进行了细菌灭活实验.利用扫描电镜(SEM)观察了氩等离子体处理前后细菌芽孢的形貌变化;测量了等离子体...
  • 作者: 施芸城 石建军 解艳凤 郭颖 黄晓江
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  893-897
    摘要: 利用协同射频等离子体对聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜进行表面改性,主要研究了直流(DC)脉冲偏压协同作用对PET膜表面快速(15 s)处理效果的影响.实验表明:DC脉冲偏压作用后PET表面...
  • 作者: 屠彦 张盼盼 杨兰兰
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  898-902
    摘要: 荫罩式平板探测器是在等离子体显示器的基础上发展的一种新型气体探测器.该探测器可以继承等离子体的制作工艺,具有结构简单,制造成本低,易于实现大面积探测等优点.本文主要通过模拟荫罩式平板探测器内...
  • 作者: 张云昆 李晓峰 赵学峰 郭骞
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  903-908
    摘要: 介绍了在同一阴极玻璃窗上制作超二代像增强器Na2KSb(Cs)膜层和Na2KSb(Cs-Sb)膜层的方法.测量了超二代像增强器Na2KSb(Cs)膜层和Na2KSb(Cs-Sb)膜层的光谱响...
  • 作者: 李晓峰 郭骞
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  909-915
    摘要: 叙述了超二代像增强器多碱阴极透射式和反射式量子效率的测量原理及其样品的制备,分析了超二代像增强器多碱阴极的光谱吸收特性以及微通道板(MCP)输入端的光反射对多碱阴极量子效率的影响,测量了超二...
  • 作者: 付亚波 崔静 李廷举
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  916-919
    摘要: 5N高纯铜具有优异的导电、导热等性能,广泛应用于电子、通讯、国防等工业,研究真空条件下去除微量杂质元素的规律具有重要意义.本文通过真空电子束精炼、真空感应精炼4N原料铜,研究制备5N高纯铜过...
  • 作者: 刘红湘 彭鹏 戴永年 曲涛 杨成博 杨斌 田阳
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  920-925
    摘要: 对氧化镁在真空碳热还原过程中的行为进行了热力学分析,研究表明真空条件下氧化镁易于被碳还原,还原温度随着体系压力的降低逐渐降低.在系统压力30~100 Pa的条件下,通过计算确定还原过程的主反...
  • 作者: 张勋 施文博 陆道纲 马文慧
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  926-931
    摘要: 采用丝网印刷法在α-Al2O3基底表面分别以三种不同的氮化温度和时间制备了用于碱金属热电转换器AMTEC的氮化钛(TiN)多孔薄膜电极.通过X射线衍射仪对TiN薄膜进行相分析,同时利用扫描电...
  • 作者: 胡跃辉 陈义川 陈俊 陈新华 马德福
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  932-938
    摘要: 为了研究Co掺杂及掺杂浓度变化对ZnO薄膜结构及光学性能的影响,本文采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备了不同Co掺杂浓度的ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜、傅里叶变换红外光谱...
  • 作者: 周剑 李远东 王德苗 金浩 陆静苹
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  939-942
    摘要: 采用射频磁控溅射技术在玻璃上制备InxSy缓冲层,溅射功率范围从30W到100 W.通过能量色散X射线光谱仪、扫描电子显微镜和紫外分光光度计分别检测在不同溅射功率条件下制备的InxSy薄膜表...
  • 作者: 姚迎 徐向华 梁新刚 沈治
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  943-947
    摘要: 传统的热控百叶窗在有外来辐射直射影响的情况下散热效果受到很大影响,热量可控范围缩小.本文提出了一种新型热控百叶窗设计,通过改善其结构使得航天器散热表面在有外来辐射入射的情况下仍能达到对外散热...
  • 作者: 倪清 冯汉升 康帅 毕延芳
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  948-953
    摘要: 低温喷射器在900 W/4.5 K氦低温测试系统分配阀箱中的应用主要功能是过冷超临界氦,通过高压低速的超临界氦流在喷管中形成的低压高速的喷射流体引射过冷槽中的氦蒸气,从而达到过冷槽的减压降温...
  • 作者:
    发表期刊: 2013年9期
    页码:  封3
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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