真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: Keith Anderson 时亚茹 曹丹 高文忠
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  197-203
    摘要: 除湿溶液再生是维持除湿过程持续进行的必备条件,其效率直接影响整个系统的性能.以常用除湿溶液氯化锂为研究对象,在理论分析其液滴闪蒸过程表面温度的变化基础上,进行了实验测试分析.实验结果表明,典...
  • 作者: 李辉 林毅雄 林河通 林艺芬 林钟铨 黄美香
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  204-209
    摘要: 利用微波真空干燥技术开发香蕉干制新产品,获取香蕉片微波真空干燥的最佳工艺.采用三因素三水平的L9(34)正交试验设计,研究真空度、微波强度和切片厚度对香蕉片产品色差、脆度、膨化率和感官品质的...
  • 作者: 丁勤 刘伟强 刘江 蒋炎华 薛长利
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  210-215
    摘要: 通过对中国小卫星所采用的氦质谱正压累积检漏方法的分析,建立了正压累积检漏计算模型及不确定度评定模型.在试验数据计算分析及不确定度分析中引入最小二乘法,提出了应用最小二乘法对一元一次方程的斜率...
  • 作者: 张江 文怀兴
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  216-220
    摘要: 搁板是果蔬真空低温干燥设备的核心部件之一,本文以实验室果蔬真空低温干燥箱搁板为基础,分析了其传热过程,模拟其加热搁板的温度分布.并且,将猕猴桃作为试验样品,搁板作为研究核心,通过试验,研究了...
  • 作者: 付朝晖 刘轶鑫 杜永刚 杨震春 许旻
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  221-224
    摘要: 密封是保证航天器发射、运行可靠性及寿命的关键环节之一,随着月球及深空探测技术发展需求,迫切需要解决在极高真空环境下设备的密封技术.本文根据空间环境的适应要求,研制设计一种采用软金属合金作为填...
  • 作者: 刘强 焦洋洋 王素娟
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  225-229
    摘要: 脆薄零件在加工中影响零件加工精度的主要问题是工件变形.在实际生产过程中,为了保证脆薄零件的加工精度,采用真空夹具来夹紧.真空夹具可以平稳、可靠地夹紧工件,且不易损坏所吸取工件的表面.本文根据...
  • 作者: 刘元正 张晋宽 李俊 李攀 王继良 雷兴
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  230-234
    摘要: 用于制造石英玻璃真空腔的低温键合技术受到了广泛的重视.该技术基于氢氧化物催化玻璃表面的水解/脱水过程,通过在键合界面之间形成硅酸盐三维网状结构实现键合,是一种高强度、高精确性、可靠的室温键合...
  • 作者: 付贵忠 孔德军 张垒 王文昌
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  235-240
    摘要: 用阴极离子镀方法在TiC基金属陶瓷刀具表面制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜、X射线衍射和能谱分析面扫描与线扫描等手段对AlCrN涂层组织结构和表面-界面化学元素分布进行了分析,并对其界面扩...
  • 作者: 喻利花 许俊华 鞠洪博
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  241-244
    摘要: 采用多靶共焦射频磁控溅射制备不同调制比的NbSiN/VN多层膜.利用X射线衍射、扫描电镜、能量色散谱、纳米压痕仪及摩擦试验机对薄膜的成分、相结构、力学及摩擦性能进行分析.结果表明,NbSiN...
  • 作者: 何代华 刘平 刘新宽 李伟 赵永生 陈小红 马凤仓
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  245-250
    摘要: 采用射频磁控溅射工艺在Si基体上制备了TiN/Si3N4纳米复合结构涂层.对不同溅射气压、基片温度以及N2/Ar气流比条件下制备的TiN/Si3N4纳米复合涂层的结构和性能进行了研究和分析....
  • 作者: 何星 底月兰 李奇 杨臻 王宪成 蔡志海
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  251-255
    摘要: 为延长活塞环的使用寿命,改善活塞环与缸套的摩擦磨损状况,采用闭合场非平衡磁控溅射技术在活塞环表面制备了不同Mo含量的CrMoN复合薄膜,比较研究了电镀Cr活塞环和CrMoN复合薄膜活塞环的纳...
  • 作者: 刘新才 张栋 柯培玲 汪爱英 王振玉
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  256-260
    摘要: 采用高功率脉冲磁控溅射技术制备TiN薄膜,通过基架自转与固定的调节方式,研究了离子轰击对所制备T饿薄膜结构和性能的影响.采用台阶仪测量薄膜的厚度,采用场发射扫描电镜、扫描探针显微镜、X射线衍...
  • 作者: 公发权 吕起鹏 孙龙 李刚 王锋 金玉奇
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  261-265
    摘要: 为实现高纯度氧化铝薄膜的快速稳定溅射沉积,采用非平衡闭合磁场孪生靶技术,利用脉冲直流磁控溅射方法,首先对溅射电压随氧流量的迟滞现象进行了研究,在此基础上,提出了一种新型的等离子体辅助溅射沉积...
  • 作者: 沈小虎 王德苗
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  266-271
    摘要: 提出了一种用于铁氧体电感金属化的耐高温薄膜.它采用了Ni-V/Ag复合膜系,能够满足贴片电感组装过程中耐受420℃高温焊接10s的要求,而且厚度不超过6μm.为了了解焊接中的表面反应过程,用...
  • 作者: 付绍军 涂吕星 王旭迪 邱克强 郑正龙 饶欢乐
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  272-277
    摘要: 超疏水表面改性可以提高聚碳酸酯(PC)的实用性能.采用氧气等离子体刻蚀的方法对PC基片表面进行处理结合表面沉积疏水性涂层制备了超疏水表面.利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪和傅里叶变换红外...
  • 作者: 侯学成 姜晓辉 崔玉琳 张家祥 李田生 沈奇雨 王亮 田宗民 郭建
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  278-281
    摘要: 为了适应薄膜晶体管液晶显示器窄边框化以及面板布线精细化的趋势,以及利用较少光刻次数生产出高品质的产品,本文研究了利用反应离子刻蚀栅绝缘层过孔.介绍了栅绝缘层过孔刻蚀的原理,通过实验以及测试研...
  • 作者: 夏洋 张阳 李超波 窦伟
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  282-288
    摘要: 针对集成电路注入设备对等离子体大面积、高密度和良好均匀性的要求,利用CFD-ACE仿真软件对1500 mm×1500 mm大面积感应耦合等离子体腔室做了多物理场综合仿真.利用正交实验法对等离...
  • 作者: 丁耀根 张兆传 梁源 王勇 赵鼎 阮存军 阮望
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  289-293
    摘要: 从微波理论出发,经过数学变换,建立了群时延与速调管输出腔间隙自阻抗实部的数值关系.用此新方法与传统方法测试了工程上成熟的某速调管的双间隙输出腔.然后,讨论了用群时延来估算间隙阻抗的可行性与局...
  • 作者: 冯进军 胡银富 蔡军 邬显平
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  294-299
    摘要: 针对W波段2GHz带宽范围内500 W以上输出功率的系统应用需求,对一种新型贯通耦合式梯形线行波管进行了分析和模拟设计.通过CST微波工作室分析了这种贯通耦合式梯形线电路的冷特性参数,结果表...
  • 作者: 唐华 李长生 薛茂权
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  300-304
    摘要: 通过液相磁力搅拌混合原料粉末钛、铝、石墨以及少量锡,压片后在1300~1400℃无压烧结合成了三元鸭A坞陶瓷.研磨粉碎后样品的X射线衍射(XRD)结果表明,在1300和1350℃烧结30mi...
  • 作者: 刘燕 张少峰 杜亚威 邵天
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  305-311
    摘要: 借助STAR-CCM+软件对热泵蒸发系统中的核心部件蒸汽喷射器进行了三维数值模拟,采用有限体积法离散控制方程,标准k-ε湍流模型,近壁面处使用壁面函数修正.考察并分析了工作蒸汽、引射蒸汽压力...
  • 作者:
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  后插1
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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