真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 杜昊 王向红 程岐生 赵战锋 郎文昌 高斌
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  913-918
    摘要: 采用有限元模拟对多模式交变耦合磁场进行了优化设计,介绍了多波形电磁线圈控制电源的原理,并对按此原理制作的电源进行了测试,分析讨论了不同波形励磁电流条件下磁场对于弧斑运动的影响,提出了一种多模...
  • 作者: 宋冰宜 杨斌 蒋文龙 许帅
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  919-925
    摘要: 目前,大量二元系合金的活度计算模型得以广泛应用.本文以正规溶液模型,Miedema模型,MIVM,NRTL方程和Wilson方程作为研究模型,将各个模型所需参数进行统计,结果表明:NRTL方...
  • 作者: 张世伟 张志军 张杰 张英锋 韩进
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  926-933
    摘要: 选择目前已得到大量应用的、采用等螺距螺杆转子的无油螺杆真空泵作为研究对象,针对其内部的气体输运过程开展热力学研究.基于等螺距螺杆真空泵的结构特点和抽气原理,论文将被抽气体在泵内所经历的输运过...
  • 作者: 刘坤 巴德纯 张振厚 李培印 李强 王光玉
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  934-939
    摘要: 新兴行业的不断兴起给真空泵带来了快速发展的机遇,同时也对真空泵的集成化、高效率、节约空间、高技术含量提出了更高的要求.本文提出了一种三轴式的罗茨真空泵,对其抽气过程进行了介绍,并基于啮合原理...
  • 作者: 王宇 王魁波 陈进新
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  940-946
    摘要: 满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件.本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基...
  • 作者: 巫修海 张宝夫 陈文华
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  947-954
    摘要: 结合现有干式螺杆真空泵螺杆转子型线的特点,提出了一种严格密封的单头螺杆转子端面新型线,其端面型线依次由齿顶圆、齿顶圆弧过渡曲线、渐开线、齿根圆过渡曲线、齿根圆、长幅外摆线顺序相接组成;采用该...
  • 作者: 刘官 张俊锋 彭润玲 徐飞燕 曾群锋 董光能
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  955-962
    摘要: 采用非平衡磁控溅射技术在Si3N4球及高速钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜.采用UMT-Ⅱ型球盘式摩擦磨损试验机分别考察了Si3N4球、镀DLC膜Si3N4球及GCr15球的摩擦学性能,并...
  • 作者: 吴晓京 晏忠 杜小琴 赵文达 邓皓谦
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  963-969
    摘要: 为了制备出高性能的可挠透明导电薄膜,采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ti、F共掺的ZnO(TZO)透明导电薄膜.研究了不同衬底温度、氧分压及F的掺杂量对TFZ...
  • 作者: 何玉平 周浪 黄海宾 龚洪勇
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  970-974
    摘要: n型单晶硅表面本征非晶硅基薄膜(a-Si∶H)的钝化作用是高效率非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的关键.本文采用掺氧和热处理的方式改变本征非晶硅基薄膜(a-Si∶ H)样品中SiH和SiH2键构...
  • 作者: 巴德纯 张健 赵崇凌 陆涛
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  975-978
    摘要: 采用自主研发系统,应用反应射频磁控技术,在氧化铝陶瓷样片上制备了方阻稳定性好的TaN薄膜,研究了氮分压(N2/(N2+ Ar))、沉积温度、沉积时间对TaN膜层结构和电性能的影响,通过X射线...
  • 作者: 但敏 倪新亮 沈丽如 王钦 童洪辉 金凡亚 陈美艳
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  979-983
    摘要: 采用霍尔源放电等离子体对碳纤维/树脂复合材料表面进行活化,通过直流磁控溅射技术在其表面沉积Al涂层.利用红外光谱、X射线衍射和扫描电子显微镜分析基体表面极性和涂层组织结构,自行设计垂直拉伸装...
  • 作者: 公发全 刘万发 周徐阳 张敏 李刚 牟宗信 董闯 谭艳楠
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  984-988
    摘要: 采用电子束蒸发镀膜工艺,在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜,研制了国际热核聚变实验堆光学诊断中用具有较高反射率薄膜第一镜.通过中频脉冲偏压方法产生氢等离子体,对薄膜第一镜在氢...
  • 作者: 刘忠伟 桑利军 赵高 陈强 马超
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  989-993
    摘要: 采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响.结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模...
  • 作者: 张其劭 王丽 罗勇 舒国响 苏景
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  994-999
    摘要: 基于高斯波束的标量理论,分析了球面和工作模式等相位面的吻合程度对开放式谐振腔谐振频率、固有品质因数、模式间隔以及谐振曲线等性能参数的影响.借助Ansys HFSS对理论分析进行了模拟验证,同...
  • 作者: 李浩光 杨军 杨志恒 邓光晟 阚延贝 阮久福
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  1000-1004
    摘要: 提出了一种基于矩形交错双光栅的两级串联慢波结构,该高频结构采用双电子注通道和一个聚焦系统,高频信号分别在两段慢波结构中工作在-1和+1空间谐波状态.对该慢波结构的色散特性进行了模拟计算,分析...
  • 作者: 岳建岭 朱萍 李淼磊 王恩青 黄峰
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  1005-1010
    摘要: 采用磁控溅射工艺制备了不同沉积温度的V-Al-Si-N涂层,利用X射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机对涂层的结构和性能进行了分析.研究结果表明:室温下制备的涂层生长缺陷较多,残余...
  • 作者: 宋冰宜 杨斌 蒋文龙 许帅
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  1011-1016
    摘要: 从铜阳极泥及有色金属电解工序中产生的大量Pb-Ag-Cu合金中富集银具有重要意义.本文采用真空蒸馏的方法对Pb-Ag-Cu合金中富集银和去除铅的可行性进行分析,同时考察蒸馏温度和蒸馏时间对实...
  • 作者: 徐伟强 李万青 李倩倩
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  1017-1022
    摘要: 完成机载低温液氢储罐的基本结构设计,通过设计使用新型绝热支撑结构,解决了传统支撑结构热流量过大的问题,通过薄膜容器理论和有限元数值模拟方法对储罐进行强度计算与校核,使用赫兹接触理论与ANYS...
  • 作者: 俞健 吴卫东 尹鸿卜 曹林洪 熊政伟 王进 王雪敏
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  1023-1027
    摘要: 二维结构的石墨烯拥有的优异性能,使之成为近年来化学,物理,材料科学等领域的研究热点.本文以热解石墨为碳源,采用脉冲激光沉积方法,在单晶Cu (111)基片上沉积石墨烯薄膜,并对比了高真空气氛...
  • 作者: 程玉瑾 袁爱群 谭颖 陈国菊 韦冬萍 马少妹
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  1028-1033
    摘要: 采用真空干燥获得玫瑰花瓣压花材料,研究真空度、温度等条件对玫瑰花瓣干燥特性、压花艺术美观性的影响,采用差热-热重(TG-DTG)分析、扫描电镜对玫瑰花瓣热变化过程、表面微观形态进行表征,建立...
  • 作者:
    发表期刊: 2015年8期
    页码:  后插1
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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