真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 张栋 武涛 沈兴全 董振
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  739-744
    摘要: 针对爪式真空泵现有的几种转子,本文提出了一种新型螺旋直爪形转子,其二维基本结构参数采用直爪型线,在轴向为螺旋结构.此结构可以实现转子之间的正确啮合,且在压缩过程中,提高了气密性,泄漏量有效的...
  • 作者: 吴启鹏 杨敏勃 纪明
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  745-749
    摘要: 为解决月球样品容器密封可靠性评估的问题,将目前常用的可靠性评估方法引入并应用于对其可靠性的评估.经分析比较,选择所需子样数最少的最大熵试验法作为最终评估方法并详细介绍评估过程.该方法选取容器...
  • 作者: 刘亿鑫 刘璐 崔婧格 米梦龙
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  750-754
    摘要: 对蒸馏水分别通过压力雾化喷嘴和直流喷嘴喷射到低压环境的喷雾过程进行了实验研究,分析了环境压力、工质温度、工质流量对压力雾化喷嘴喷雾锥角和直流喷嘴喷雾瞬态特征的影响.实验结果显示,当采用压力雾...
  • 作者: 刘艳明 李健 李彤 王晨 裴志亮
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  755-763
    摘要: 硬质涂层的制备及改性是当今涂层领域的研究热点之一,随着科学技术的迅速发展及工业要求的不断提高,对硬质涂层材料、性能及其制备技术则提出了更高的要求.本文主要从硬质涂层制备、组元微结构设计及其强...
  • 作者: 孙丽丽 李强 柯培玲 汪爱英 郭有志 郭鹏
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  764-771
    摘要: 金属掺杂是降低类金刚石薄膜(DLC)内应力、提高其机械性能的一种有效方法.通常,金属掺杂类金刚石薄膜(Me-DLC)为均匀的纳米复合结构,但在一定条件下,会形成特殊的自组织分层结构.为了研究...
  • 作者: 傅若凡 康皓清 张群 杨建文
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  772-778
    摘要: 采用射频磁控溅射法制备了非晶铟锌钨氧化物(a-IZWO)薄膜和以此半导体薄膜为沟道层的薄膜晶体管.研究了沟道宽长比和退火时间对器件电学性能的影响.结果表明,沟道宽长比为400 μm∶400 ...
  • 作者: 富容国 常本康 杨明珠 王贵圆 石峰 程宏昌
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  779-785
    摘要: 热增强光电发射是一种新的太阳能转换技术,它可以将光电发射和热电发射结合到一个过程中.本文在细节平衡条件下对光子增强热电子发射进行了理论计算,并给出了反射式GaAs光电阴极的增强热电子发射电流...
  • 作者: 吴宛泽 王秋实 王维龙 谢永辉
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  786-790
    摘要: 采用直流电弧等离子辅助法合成了β-SiC纳米分支结构.用扫描电镜和透射电镜,X射线电子能谱和拉曼光谱等对样品进行表征,发现分级生长的SiC纳米线为单晶结构,沿<111>方向生长.β-SiC纳...
  • 作者: 姚若河 黄昕乾
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  791-796
    摘要: 基于金属纳米颗粒的光散射理论,利用时域有限差分法计算了Ag纳米球阵列不同结构参数下的散射光谱、吸收光谱及散射效率,分析了Ag纳米球阵列在共振波长下的极化电场和极化电荷分布情况,讨论了Ag纳米...
  • 作者: 马建春
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  797-800
    摘要: 采用磁控溅射的方法制备了L10-FePt/[Fe/C]n薄膜,并与L10-FePt/Fe双层膜磁性能进行了对比.结果表明,当[Fe/C]n周期数固定时,薄膜的矫顽力随C层厚度的增大呈先减小后...
  • 作者: 吕三雷 宗学文 张凌峰 张斌
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  801-804
    摘要: 为了有效分析螺旋选晶器温度场梯度对其选晶效果的影响,应用ProCAST和CAFE对镍基高温单晶合金DD4在螺旋选晶器中的晶粒组织演化进行了仿真模拟.结果表明,在其选晶过程中,在激冷面产生大量...
  • 作者: 朱小荣 柴振 罗成 蒙峻 谢文君 郑亚军
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  805-809
    摘要: 针对强流重离子加速器(HIAF)中增强器(BRing)和放射性次级束流分离器(HFRS)之间的BRing引出线真空系统进行极高真空到超高真空的过渡研究.研究表明,为不使处于极高真空状态下的B...
  • 作者: 于德军 刘舒 陈正伟 高光伟
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  810-816
    摘要: 石墨材料已成为真空加热设备尤其是高温(> 1600C)真空炉的首先材料,电阻率是其作为加热元件的首选指标.真空电阻炉用石墨件经过设计、加工,多为异形件,为了更好的掌握石墨材料的相关理化指标,...
  • 作者: 曾国英 李中杨 马国鹭
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  817-820
    摘要: 针对常温下的液体在固体表面的润湿行为研究.以液态金属汞为研究对象,采用真空等离子体刻蚀工艺制备不同表面形貌的硅片,研究不同硅片的润湿行为,并探究了液滴体积对润湿性的影响.利用金相电子显微镜、...
  • 作者: 孙旭东 张卫刚 李媛媛 王鹏 闫文娟
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  821-824
    摘要: 薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)是当前的主流平面显示技术,而金属溅射靶材是制造TFT-LCD过程中最关键的材料之一.目前,国内主流的8.5代液晶显示面板生产线所使用的金属溅射靶材,以...
  • 作者: 冉光泽 孙付春 张宸赫 李玉龙
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  825-828
    摘要: 为实现罗茨泵直谷转子型线的造型参数化与尺寸最优化.基于直谷型线与峰型线的共轭关系,通过法线法的旋转和平移的矩阵变换,构建出实际型线最简洁的全参数化的坐标方程与3D模型;其次,以节圆半径为设计...
  • 作者: 刘晋允 梁文龙 赵世柯
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  829-833
    摘要: 电真空器件内残余气体直接影响其阴极的发射能力与寿命.本文利用高灵敏度四极质谱仪监测了空间行波管在整个排气过程中的残余气体,对各阶段气体成分及含量进行了分析.结果表明:烘烤前,水为主要气体,占...
  • 作者: 余耀伟 吴金华 王俊儒 胡建生
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  834-838
    摘要: 烧结型非蒸散吸气剂泵HV800(意大利SAES公司生产)具有抽速大、抽气容量高、安装维护简单等优点,可能适用于EAST托卡马克偏滤器抽气,提高该区域粒子排出能力.本文搭建了一套极限真空5.1...
  • 作者: 刘晓艰 廖彬 曾祥兵 杜宏伟 潘晓霞 王彤 蔡悦 许阳光
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  839-845
    摘要: 围绕容积为104 cm3量级的密闭容器开展背压法漏率检测关键技术研究,分析了压氦压力、压氦时间、容器内外壁气体解吸附等因素对实验结果的影响机制,建立了一套可用于大容积密闭容器的背压法检漏流程...
  • 作者: 张德库 欧婷 王克鸿 王康
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  846-851
    摘要: 采用Ag-Cu-Ti活性钎料,通过真空钎焊方法进行了SiC陶瓷与316L不锈钢的连接,研究了接头的界面组织、特征点成分和物相,并探讨了钎焊温度(800~ 930℃)、保温时间(0 ~30 m...
  • 作者: 冯音琦 刘晓晨 欧文新 黄民双
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  852-860
    摘要: 低温等离子体具有能量效率高、装置体积小、室温环境下工作和对电源要求不高等特点,适用于在多变环境下的小规模现场制氢.分析了通过放电产生低温等离子体的物理特征,讨论了提供化学反应能量的高能电子与...
  • 作者: 吴松 孙百会 宋炜昱 李春伟 田修波 赵美君
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  861-868
    摘要: 研究电-磁场协同增强高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术的放电特性.利用数字示波器采集HiPIMS的基体离子电流用于表征其放电特性的变化.结果表明:当HiPIMS电压由580增加到660 ...
  • 作者: 余厉阳 段誉 邹林
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  869-874
    摘要: 高压脉冲已经运用于许多领域,其中一个就是可以用来产生等离子体电源.脉冲输出参数是脉冲波形、脉冲电压幅度、脉冲频率以及脉冲持续时间等.本文应用现代电力电子技术提出了一种脉冲电路的拓扑结构,通过...
  • 作者: 唐德礼 张帆 李平川 耿少飞 赵杰
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  875-882
    摘要: 溅射对圆柱形阳极层霍尔推进器的稳定运行和寿命具有不可忽视的影响.为了研究D-80空心内磁极圆柱形阳极层霍尔推进器的磁极溅射程度,建立了D-80圆柱形阳极层霍尔推进器的三维全粒子PIC/MCC...
  • 作者: 代玉杰 王学慧
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  883-886
    摘要: 从只考虑粘滞效应的非理想磁流体方程组出发,先应用半解析方法进行公式推导,然后数值计算了几种非均匀等离子体压强时,圆柱等离子体轴向扰动磁场随半径和粘度的演化规律.数值模拟结果表明:轴向扰动磁场...
  • 作者: 张钧 李长鸣 李阳 王建民 阎鑫 高术振
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  887-893
    摘要: 采用多弧离子镀技术制备了不同金属组元配比的(ZrTiAl)N硬质反应膜,进而考查金属组元配比对(ZrTiAl)N硬质反应膜的相组成和硬度的影响规律.为保证(ZrTiAl)N膜层中Zr、Ti、...
  • 作者: 刘艳梅 吴立国 唐宽瑜 杨祖兵 王铁钢 郭玉垚
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  894-900
    摘要: 通过向ZrB2薄膜中添加N和O元素,利用纳米复合结构和“预氧化”机制有望提高薄膜韧性、耐磨性能和耐热能力,本文系统研究了氮气流量对Zr-B-O-N薄膜摩擦学行为的影响.采用直流反应磁控溅射技...
  • 作者: 王海新 王立平 蒲吉斌 鞠鹏飞
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  901-905
    摘要: 采用中频非平衡反应磁控溅射法分别在单晶硅P(111)及钛合金基材表面制备了Ti/MoS2复合涂层.采用原子氧辐照模拟装置考察涂层在原子氧辐照环境的抗氧化性能.利用高真空摩擦试验机分析涂层在原...
  • 作者: 余挺 王东新 秦春 耿桂宏 闫志杰
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  906-912
    摘要: 在不同强脉冲电流作用下制备Cu-SiCp/AZ9lD复合材料,分析了复合材料的组织结构及相组成,并对其组织形成机理和显微硬度进行研究.结果表明:Cu-SiCp/AZ9lD复合材料主要由基体α...
  • 作者: 乔路 张棋 李涛 焦子龙 王国栋 窦仁超
    发表期刊: 2018年10期
    页码:  913-918
    摘要: 能量分析器是对荷能粒子进行分析的重要仪器,其在空间粒子探测方面有着越来越广泛的应用.本文基于带电粒子在静电场中的运动理论以及粒子碰撞理论,利用多物理场仿真软件COMSOL,对一种小角度偏转离...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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