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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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  • 1. 锂离子电池真空烘烤箱内通气管道结构优化设计
    作者： 关玉明 商鹏 姜钊 邱子桢
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  353-357
    摘要： 在锂电池注液前须对锂电池电芯进行真空环境下的烘烤,热氮气作为烘烤介质,通过管道进入烘烤罐内.现有的通气管具有一个进气总管和若干个小出气管,但实际烘烤工作中发现,烘烤罐内的同批锂电池电芯烘烤后...
  • 2. 种新的色谱重叠峰实时定量方法
    作者： 俞建成 吴杭 张俊良 朱强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  358-362
    摘要： 色谱重叠峰的准确定量仍然是当前分析化学领域中极具挑战性的问题之一,所以本文提出面积均值(MA)法来分离色谱重叠峰.MA方法仅仅需要修正两组构造峰,并求其对应的面积,然后根据每组构造峰的总面积...
  • 3. 事件触发式实验粒子蒙特卡洛方法模拟分子流真空系统的三维压力分布
    作者： 何平 刘佰奇 郭迪舟 马永胜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  363-368
    摘要： 从稀薄气体动力学理论出发,设计了直接模拟分子流真空系统内三维压力分布的事件触发式实验粒子蒙特卡洛方法.在算法设计中,不考虑分子间碰撞,以分子与固壁的碰撞为迭代触发点,模拟分子运动过程并通过统...
  • 4. 调控CNx薄膜的紫外可见波段光学性能研究
    作者： 曹林洪 毛娟 熊政伟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  369-374
    摘要： 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在不同衬底温度(常温、50、100、150、200C)下制备了碳氮(CNx)薄膜,并对其形貌、结构及光学性能进行了研究.通过扫描电镜得出随着衬底温度...
  • 5. 单斜氧化铜薄膜的磁控溅射制备及表征
    作者： 孟雪 张鑫 杜永利 郜小勇 高旭斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  375-379
    摘要： 采用磁控溅射,通过氧氩比的调制在玻璃衬底上沉积了单斜结构的CuO薄膜,并重点研究了氧氩比对薄膜微结构及光学吸收边的影响.研究表明随着氧氩比的增加,薄膜逐渐从多相向单相转变,薄膜表面逐渐趋于光...
  • 6. 退火温度对氢掺杂AZO薄膜热稳定性的影响
    作者： 刘智 朱志立 李乐 苌瑞广 谷锦华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  380-383
    摘要： 利用直流磁控溅射方法低温沉积了氢掺杂AZO (H-AZO)薄膜,研究了不同退火温度下H-AZO薄膜的电学、结构和光学性能的变化.结果表明,300℃退火时,H-AZO薄膜的电阻率和光学带隙不变...
  • 7. 低浓度氮气对单晶金刚石生长质量的影响
    作者： 夏禹豪 李艳春 耿传文 衡凡 马志斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  384-389
    摘要： 利用微波等离子体化学气相沉积法在CH4/H2反应气体中引入不同低浓度氮气条件下,研究氮气对单晶金刚石生长质量的影响.利用发射光谱、拉曼光谱以及扫描电子显微镜对单晶金刚石质量进行表征.结果表明...
  • 8. 热丝化学气相沉积纳米金刚石修复损伤PCD刀具的研究
    作者： 代凯 王传新 王振湉 王涛 许青波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  390-395
    摘要： 利用热丝化学气相沉积装置,以聚晶金刚石片为衬底,在氢气/丙酮/氩气反应体系中研究了衬底温度对纳米金刚石生长的影响.采用扫描电子显微镜对生长结果进行了表征,结果表明在衬底温度950℃的情况下,...
  • 9. SF6在电离层释放作用过程分析评价
    作者： 史红星 张远鹏 王庚 白云 迟卉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  396-399
    摘要： SF6是目前发现的在电离层释放作用效果较好的化学物质之一,本文依据SF6在电离层的作用过程,从释放过程、扩散迁移过程和化学反应过程三个角度对SF6在电离层的作用效果进行了分析评价,释放过程中...
  • 10. 工作参数对电场增强高功率脉冲磁控溅射的调制作用研究
    作者： 张旭 张群利 徐淑艳 李春伟 田修波 郑权 陈春晟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  400-406
    摘要： 基于辅助阳极的电场增强高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术改善了常规HiPIMS放电及镀膜过程.研究工作参数对电场增强HiPIMS的调制作用可为该技术的应用提供理论依据.利用数字示波器收集...
  • 11. 高压气体驱动锂球弹丸混合注入系统的研发
    作者： 庄会东 张晓东 胡建生 陈鑫鑫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  407-412
    摘要： 高压气体注入及弹丸注入是进行等离子体破裂缓解的最常用的两种杂质注入方式,这两种杂质注入方式在单独应用于等离子体破裂防护方面都存在一定的缺点,都不足以完全满足未来ITER等核聚变装置进行等离体...
  • 12. 双热源合成碳化硅过程的三维数值模拟及窑炉结构优化设计
    作者： 张晴 杨小玉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  413-418
    摘要： 采用CFD软件,选取热电耦合模型、组份传输反应模型与辐射模型.对碳热还原合成碳化硅过程中双热源合成炉内能量及物质传递过程进行模拟研究.将模拟结果与工业试验数据进行对比验证,从而验证了模拟的可...
  • 13. 基于分子动力学方法模拟硅功能化石墨烯纳米压痕过程
    作者： 惠治鑫 柳小林 陆万顺 马旭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  419-426
    摘要： 基于分子动力学方法,采用Tersoff势函数与Lennard-Jones势函数,结合速度形式的Verlet算法,首先对单层石墨烯薄膜的分子动力学模型进行了纳米压痕力学过程的模拟.通过模拟得到...
  • 14. β-Ga2O3纳米线的制备技术及其应用研究进展
    作者： 孔乐 张浩 李瑞东 潘志伟 白志英 邓金祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  427-433
    摘要： 综述了β-Ga2O3纳米线的研究进展,包括纳米线的制备工艺、生长机理、掺杂研究以及催化剂的生长,介绍了β-Ga2O3纳米线在日盲探测器和气敏探测器领域的研究现状,讨论了目前存在的难题及以后研...
  • 15. 叠片结构对铜抗热疲劳性能的影响研究
    作者： 刘云辉 李曙丹 李萌 王波 马玉田 齐艳飞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  434-441
    摘要： 研究了一种多层铜箔构成的叠片式表面结构,与铜块体同时在10-5 Pa真空下进行电子束热疲劳,电子束的功率密度28 MW/m2,循环3000次.采用扫描电子显微镜(SEM)对热疲劳后的铜箔与铜...
  • 16. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年5期
    页码:  后插1
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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