真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

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影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量(篇)
4084
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19905
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  • 作者: 娄利岗 孔祥玲 安跃军 杨天宇 段永利 王光玉 邓文宇 齐丽君
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  185-190
    摘要: 为满足在晶圆FAB厂内使用罗茨真空泵的工程需求及性能要求,本文设计了一台1.5 kW小体积高速永磁同步电机并将其作为罗茨真空泵用驱动电机.采用多极少槽的极槽配合方案,减少变频器及供电装置中高...
  • 作者: 孙玉玮 杜春林 王洪兴 马永来
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  191-196
    摘要: 航天器热真空试验过程中,除了要保证环境模拟器的气体压力,航天器内部的气体压力也是影响试验进程、乃至航天器设备安全的重要参数之一.这是由于试验过程中航天器电子设备的测试必须避开容易引起真空放电...
  • 作者: 吴宗跃 杜华娜 杨铁牛 赵蕾蕾 黄尊地
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  197-205
    摘要: 工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要.为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各...
  • 作者: 许海虹
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  206-213
    摘要: 全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用,因此开发一个能够与真空精炼过程相结合的机械真空泵抽气过程计算机仿真工具,以方便系统的设计和研究,显得...
  • 作者: 许海虹
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  214-225
    摘要: 全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用.本文正是利用自主研发的与真空循环脱气工艺(RH)真空精炼过程相结合的RH用机械真空泵抽气过程计算机仿...
  • 作者: 冉光泽 孙付春 李玉龙
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  226-229
    摘要: 为兼顾罗茨泵的高容积利用率和高容积效率及动平衡要求,基于普通抛物线转子型线,通过由密封用同心顶突圆弧的设计,大幅提高形状系数和容积利用率;并就顶突抛物线转子的形状系数和容积利用率等,进行与常...
  • 作者: 任志杰 孙玄 霍昆
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  230-236
    摘要: 为对科大全对称串节磁镜(KMAX)装置中等离子体离子能量分布和离子温度进行测量,需要设计一种减速场分析仪,而分析仪测出的数据被认为是复杂的,因为透射率与栅网的结构存在密切关系.结合实际物理环...
  • 作者: 何寿杰 张雅 李庆 渠宇霄 赵凯悦 赵雪娜
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  237-244
    摘要: 为了进一步揭示He/Ar混合气体中空心阴极放电机理,利用流体模型模拟研究了He/Ar混合气体环境下空心阴极放电的放电特性,模拟得到了电势、电子密度、He+和Ar+密度、电场强度的分布特性.本...
  • 作者: 代玉杰 杨舒棉
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  245-248
    摘要: 数值模拟了不同波数时,等离子体粘度的角向扰动磁场的演化规律,并与理想磁流体时的角向扰动磁场进行了比较,得到的主要结论是:等离子体压强较小时,大波数对应的角向扰动磁场为正值,小波数的角向扰动磁...
  • 作者: 余锋 汪继刚 许开熙 黄俊 黄涛
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  249-253
    摘要: 为诊断与分析高压断路器故障,本文提出了基于BP神经网络的高压断路器故障诊断方法.该方法利用高压断路器典型分合闸线圈电流-时间曲线,能反映其机械故障状况的特点,将仿真输出数据与故障编码比较获得...
  • 作者: 刘震
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  254-260
    摘要: 以金属卤盐溶液为前驱液,葡萄糖作为辅助模板,采用一步水热法在180℃@12 h条件下,经煅烧后合成了具有多褶皱的超薄MnCo2O4.5空心微球结构,利用X射线衍射和扫描电镜对形貌进行了表征;...
  • 作者: 何丽娟 孙尚志 张磊 王淑旭 田宝云 马文清
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  261-267
    摘要: 以理想CO2气体为工质,采用Standard k-ε湍流模型,对涡流管能量分离效应进行数值模拟,分析了管内流体总温、总压的分布.在此基础上,探究了进口温度为298.15 K、进口压力为6.5...
  • 作者: 张晓兵 朱卓娅 江寿桂 王昕 雷威
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  268-272
    摘要: X射线相位衬度成像利用X射线穿过样品后的相位变化,通过衍射信息来获得样品的结构特征.X射线相位衬度成像在生物影像、显微成像以及材料科学研究中有重要的应用.如果X射线成像样品物质密度比较低,它...
  • 作者: 刘凡 刘晓静 吴强运 张土轩 张方圆 张鸣凤 章易程 郭员畅
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  273-278
    摘要: 采用计算流体力学软件Fluent对吹吸式清扫流场进行计算,借助对分法分析吹嘴吹口最小间隙对吹风速度的影响,并且采用正交试验设计方法,全面分析吹吸式清扫性能的影响因素,对不同影响因素的参数组合...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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