真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 张海辉 孙娟 孙栗
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  586-590
    摘要: 选择真空烧结工艺制备得到NiAl2O3电子材料,通过添加Fe粉的方式来使得试样获得优异的导电性能.采用实验测试的方式对该合金的物相成分、微观形貌与电磁性能进行了测试.研究结果表明:逐渐提高F...
  • 作者: 姜丽丽 赵文宇 王枫
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  591-601
    摘要: 表面等离激元是金属和掺杂半导体中光子与电子的杂化激发模式.表面等离激元的强局域电场增强效应和强限域效应可以为在亚波长尺度操控光提供新的机遇.在这篇综述中,我们将首先讨论二维石墨烯等离激元在实...
  • 作者: 蔺晓建 刘建龙 马向利 蒙峻 杨伟顺
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  602-606
    摘要: 真空室受到外界激励时会产生振动,当外界激励频率接近真空室的固有频率时就会产生共振.真空室作为束流运行的场所,如果发生共振不但会影响真空系统的气密性还可能会引起结构的损伤破坏.本文结合薄壁二极...
  • 作者: 杨丽娜 丁增千 李睿颖 周博艺 熊康林 冯加贵 张永红
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  607-612
    摘要: 金属铌的超导转变温度高,在超导电子学和超导量子电路中有着广泛的应用.铌膜通常采用常规磁控溅射设备进行制备.为了改善铌膜的质量,利用超高背景真空的磁控溅射设备进行铌膜制备工艺的研究非常重要.结...
  • 作者: 王学禹 吴勤斌 罗日成 肖宏峰 田迪凯 张宇飞
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  613-618
    摘要: 为进一步探索射频容性耦合等离子体放电影响因素,本文运用数值仿真技术,构建了容性耦合等离子体的一维发射装置,施加射频源,仿真气体设定为氦气,极板间距恒定75 mm,研究了插入阻挡材料厚度、介电...
  • 作者: 李森 王小兵 马婷婷 李栋 戴健男
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  619-625
    摘要: 本文采用流体模型模拟了不同工作气体下N2介质阻挡放电.并利N2等离子体用发射光谱进行了实验对比.该模型考虑了 10种反应物和28种反应.压力在1~5 atm之间,不同能级的N2(C)分子是典...
  • 作者: 耿钰翔 刘晓明 陈海 姜文涛 李培源 张煦松
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  626-631
    摘要: 以真空断路器弧后鞘层发展过程为对象,采用等离子体流体力学模型,求解电子、离子密度和平均电子能量的漂移扩散方程和耦合电场的泊松方程,引入粒子间碰撞反应,仿真分析其弧后介质恢复变化和鞘层发展阶段...
  • 作者: 张作胜 张勇 宋艳斌 陈传胜 张雪茹
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  632-639
    摘要: 氧化镍和聚苯胺是典型的无机/有机电致变色材料,各有其优缺点.如果将两种材料相结合,可得到电致变色性能更加优良的NiO/PANI复合材料.本文通过水热法与电聚合相结合的方法制备了氧化镍(NiO...
  • 作者: 刘莎 徐源来 赵培 李紫琪 陈志杰
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  640-647
    摘要: 以双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)化铜(Cu(DPM)2)为前驱体,使用智能化学气相沉积设备在673 K至1173 K下于A1N多晶基板上制备Cu薄膜.研究了不同沉积温度对Cu薄...
  • 作者: 张银团 张腾飞 王启民
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  648-658
    摘要: 超级电容器作为一种可以快速充放电的储能器件,在电动汽车、微储能电子器件、航空航天等领域有广泛的应用前景.金属氮/氧化物薄膜电极具有优良的电化学性能以及稳定的机械性能,使其成为一种极具发展潜力...
  • 作者: 于洋 朱鸣 张波 古纯霖 张耕 陈叔平
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  659-667
    摘要: 氧化钯被公认为性能优良的吸氢剂之一.常应用于高真空多层绝热设备中维持真空.本文通过搭建实验台系统地研究新型氧化钯在不同数量级的真空度下吸氢性能、吸附速率、吸氢效率、吸附量以及平衡压强之间的关...
  • 作者: 张瑜 王晓雪 韩明硕 李爽
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  668-673
    摘要: 为了提高微波气体测量系统的测量精度,针对其主要测量元件开口微波谐振腔选频能力较弱的问题,对谐振腔的耦合孔及通风孔进行优化设计.以建立在9.6 GHz的圆柱谐振腔模型为基础,采用矩形波导从腔的...
  • 作者: 苏童 艾永昌 黄水明 徐凯 侯雪玲 周超 刘兴光
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  674-682
    摘要: 随着"物联网"时代的来临及智能芯片推出,在全世界范围内掀起了 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)芯片器件发展浪潮.高端的MEMS芯片器件需要在其内部安...
  • 作者: 乔雪垠 聂斌
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  683-686
    摘要: 为了提高建筑结构钢的性能,采用添加TiB2颗粒的方式对其加强.分析立式电磁搅拌模式下电流对其微观组织及力学性能的影响,同时研究了强对流状态下的颗粒分布形态.研究结果表明:经电磁搅拌处理后,形...
  • 作者: 李贤粉 武庆慧 吕晓东 伍秦至 张金柱 黄润
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  687-693
    摘要: 通过FactSage理论计算与实验相结合的方法研究了添加不同硅钙比时磷矿碳热还原反应体系的变化.热力学计算结果表明:在1 Pa的真空条件下,气相中磷单质的挥发率在1250℃时达到最大值,Si...
  • 作者: 张健 牛夏斌 孟辉波 齐振华 李建浩
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  694-698
    摘要: 利用真空反应蒸发镀膜技术在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)表面沉积AlOx+Al+AlOx三层镀层,通过改进传统蒸发镀膜设备,增添匀气管,控制氧气通入位置及流量,研究了氧气流量对膜层形貌、膜层...
  • 作者: 郭家玮 李文豪 郑俊杰 廖逸韬 申奕伟 赵建铖 王堃 吴朝兴 郭太良
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  699-709
    摘要: 随着数据信息的爆炸性增长和微电子加工工艺逼近物理极限,互补金属氧化物半导体(CMOS)器件难以应用于大规模神经形态器件的构建.采用非CMOS器件实现突触可塑性模拟被认为是后摩尔时代构造人工神...
  • 作者: 王陈文 张海宝 陈强
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  710-720
    摘要: 螺旋波等离子体为目前能产生最高等离子体密度的低温等离子体源之一,在低温等离子体应用领域中备受关注.螺旋波等离子体源具有电离效率高、电子密度高、约束磁场低、结构相对简单、可在极低气压下放电等优...
  • 作者: 崔寓淏 喻新发 唐振宇 文明 叶继飞
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  721-725
    摘要: 本文采用蒙特卡洛方法,针对透射式烧蚀激光推力器真空羽流流场进行分析研究.基于烧蚀工作原理,构建了透射式激光推力器喷射理论模型,对其真空羽流流场进行了数值模拟,获得了羽流场变化过程及流场分布情...
  • 作者: 孟少飞 庞旭东 别炎华 李雨辰 张仲志
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  726-731
    摘要: 含有水环泵的真空系统是一种典型的变抽速抽气系统.针对变抽速抽气时间计算问题,目前常用的方法是分段计算法.为了提高计算精度,相关研究主要集中在优化抽气速率模型以及提高抽气速率数值计算精度上,对...
  • 作者: 王新超 但敏 张帆 李平川 岳守晶 孟超 唐德礼 金凡亚
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  732-738
    摘要: 采用阳极层离子源对米级范围内不同距离下的玻璃纤维增强的氰酸酯基复合材料进行表面活化处理后,采用真空磁过滤阴极弧技术在相应位置的复合材料表面沉积Al涂层.通过分析等离子体活化前后的表面能和表面...
  • 作者: 汪志伟 王旭迪 尉伟 王思慧 丁云升
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  739-744
    摘要: 非蒸散型吸气剂材料是近年来广泛应用于真空领域的一种重要材料,但过高的活化温度限制了它的应用场景.本文使用比例均匀一致的钛锆钒合金作为靶材,经直流磁控溅射沉积了活化性能良好的非蒸散型吸气剂薄膜...
  • 作者: 孙栎翀 刘晓明 陈海 姜文涛 李培源 史政凯 刘易雄
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  745-750
    摘要: 真空断路器弹簧操动机构中四杆机构杆件结构与合闸弹簧参数对动触头合闸速度和位移特性具有直接影响,包括冲程弹跳与机构磨损量等.以10kV断路器用弹簧操动机构为对象,采用SolidWorks软件建...
  • 作者: 丁云升 毕海林 张俊 曹青 任国华 孙立臣 王旭迪
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  751-755
    摘要: 为了解决纳米多孔材料特征尺寸无损表征的问题,本文提出一种基于改进的过渡流态流导理论的气体渗透测量方法,通过搭建动态差压瞬态测试系统,对过渡流态下气体通过多孔介质材料的流导进行实时测量,从而得...
  • 作者: 熊秋月 刘志宏 陈文革 闫朝辉
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  756-760
    摘要: Nb3Sn超导磁体需要长时间640℃真空热处理才能形成超导相,对不同超导磁体绝缘结构使用的国产耐辐照玻璃纤维、HS/6高强玻璃纤维、美国S-2高强玻璃纤维在640℃真空热处理前后分别进行真空...
  • 作者: 钱斌斌 张朝林 张仁杰 范强强 吴志强 李珂珂 王宽
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  761-765
    摘要: 针对汽车安全气囊气体发生器自动化装配生产线中氦检工位检测精度与工作节拍矛盾的问题,结合真空箱氦检法的优点,设计了高效气体发生器氦检系统.基于发生器结构组成和氦检工作原理的特点,进行了理论计算...
  • 作者: 陈明 薛松 周泽宇 刘俊男 李波
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  766-769
    摘要: 采用双通道气路转换法测量了铬锆铜材料的出气率.对经过150℃、保温24 h烘烤的铬锆铜,测得的出气率为2.89×10-10 Pa·L·s-1· cm-2(等效氮气),烘烤温度提升至250℃时...
  • 作者: 崔阳 宋佰鹏 杨勇 黄越 周润东 曹彩霞 张冠军 孟娜 赵笙罡 马慧
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  770-774
    摘要: 航天器在轨表面入射离子、电子产生的二次发射电子流随二次电子发射系数的变化而变化,通过建模仿真对二次电子发射系数对充电电流、充电电位的影响进行验证.通过对航天器用表面材料ITO(Indiumt...
  • 作者: 徐宗琦 田雷超 王平阳 杭观荣
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  775-779
    摘要: 随着电推进技术的发展,对具有高抗中毒性中和器的需求日益紧迫.为此,基于射频放电基本原理,设计了一款可采用多种工质且具有高抗中毒能力的射频等离子体中和器,搭建了真空实验平台进行试验研究,获得了...
  • 作者: 张凤贞 张兆传 高冬平 王笑妍
    发表期刊: 2021年8期
    页码:  780-788
    摘要: 提出了一种使用金属栅脊加载矩形波导慢波结构的非共振斜注管.研究了金属栅脊加载矩形波导慢波结构的高频特性,并将其与矩形波导栅慢波结构的高频特性进行对比.设计了一只使用金属栅脊加载矩形波导慢波结...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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