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摘要:
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CSNS四极陶瓷真空盒磁控溅射镀TiN膜研究
TiN膜
四极陶瓷真空盒
磁控溅射
绝缘体
长直管道
真空蒸镀炸药研究
真空蒸镀
成膜机理
炸药
MAIP镀TiN工艺对膜基结合的影响
多孤离子镀
镀膜工艺
伪扩散层
结合强度
多弧离子镀Ti/TiN膜的耐磨耐蚀性研究
多弧离子镀
Ti/TiN双层膜
耐磨性
耐腐蚀性
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 真空弧光蒸镀法制作的TiN膜的特性
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 直空弧光蒸镀 特性 TIN膜
年,卷(期) 1989,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 20-27
页数 8页 分类号 TG713.106
字数 语种
DOI
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引文网络
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1989(0)
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研究主题发展历程
节点文献
直空弧光蒸镀
特性
TIN膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
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