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真空弧光蒸镀法制作的TiN膜的特性
真空弧光蒸镀法制作的TiN膜的特性
作者:
冈本康治
王乃云
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
直空弧光蒸镀
特性
TIN膜
摘要:
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文献信息
篇名
真空弧光蒸镀法制作的TiN膜的特性
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
直空弧光蒸镀
特性
TIN膜
年,卷(期)
1989,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
20-27
页数
8页
分类号
TG713.106
字数
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DOI
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1989(0)
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直空弧光蒸镀
特性
TIN膜
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
成都市第109信箱207分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
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