基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
真空镀膜机模块化设计系统研究与应用
真空镀膜机
模块化设计
专家知识库
案例知识库
用单片机控制卷绕式真空镀膜机
镀膜机
单片机
继电控制
真空镀膜技术的现状及发展
真空镀膜技术
物理气相沉积法
真空蒸发
溅射镀膜
离子镀膜
基于PEM的反应磁控溅射镀膜机参数监控系统
磁控溅射
真空镀膜
串口通信
LabVIEW
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 CWD型超高真空镀膜机性能的改进
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 超高真空 镀膜机 集成电路
年,卷(期) 1989,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-4
页数 4页 分类号 TN440.5
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1989(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
超高真空
镀膜机
集成电路
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
论文1v1指导