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CWD型超高真空镀膜机性能的改进
CWD型超高真空镀膜机性能的改进
作者:
廖燕南
许镜明
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
超高真空
镀膜机
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篇名
CWD型超高真空镀膜机性能的改进
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
超高真空
镀膜机
集成电路
年,卷(期)
1989,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-4
页数
4页
分类号
TN440.5
字数
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DOI
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镀膜机
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
成都市第109信箱207分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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395
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