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文献信息
| 篇名 | 类金刚石碳膜 | ||
| 来源期刊 | 电碳 | 学科 | 化学 |
| 关键词 | 类刚石碳膜 i-c膜 化学气相沉积 | ||
| 年，卷（期） | dtb_1989,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 1-4 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | O613.71 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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类刚石碳膜
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化学气相沉积
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