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InP中的Be,P共注入及其退火特性研究
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文献信息
| 篇名 | InP中的Be,P共注入及其退火特性研究 | ||
| 来源期刊 | 科技通讯（上海船厂） | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 离子注入 热退火 铍 磷 半导体 | ||
| 年，卷（期） | 1989,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 14-17 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TN304.2 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
离子注入
热退火
铍
磷
半导体
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技通讯（上海船厂）
主办单位：
上海求新造船厂科技办公室
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
上海市机厂路132号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
142
总下载数（次）
0
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